最新Silvaco-TCAD-器件仿真1教学讲义ppt.ppt

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1、Silvaco-TCAD-器件仿真1上一讲知识回顾和本讲内容上一讲内容：光刻工艺仿真，工艺集成这一讲内容：给出器件仿真的整体思路，从一个例子看器件仿真2021/8/142Silvaco学习器件仿真需要考虑的问题器件结构材料特性物理模型计算方法特性获取和分析2021/8/143Silvaco学习计算方法在求解方程时所用的计算方法计算方法包括计算步长、迭代方法、初始化策略、迭代次数等计算不收敛通常是网格引起的2021/8/147Silvaco学习特性获取和分析不同器件所关注的特性不一样，需要对相应器件有所了解不同特性的获取方式跟实际测试对照来理解从结构或数

2、据文件看仿真结果2021/8/148Silvaco学习了解一下ATLASATLAS仿真框架及模块仿真输入和输出Mesh物理模型数值计算2021/8/149Silvaco学习器件仿真模块仿真框架及模块2021/8/1410Silvaco学习器件仿真模块器件模拟软件ATLAS拥有两个模拟器：用于所有硅器件模拟的S-Pisces，和用于高级材料(III-V,II-VI和混合技术)的Blaze器件模拟器。Silvaco的两个工艺模拟器可分别对最新器件进行特殊性能分析，如TFT，铁电材料，边缘发散激光，VerticalCavitySurfaceEmittingL

3、asers(VCSELS)，以及其他使用外来材料实现产品差异的光电子的应用器件。可用于两个模拟器的一整套的插换模块提供了更多详细的分析功能，包括量子效应，噪声，光刻印刷，非等温线影响，混合模式仿真能力，以及一个用户模型开发的C-注释器。器件模拟软件ATLAS2021/8/1411Silvaco学习器件仿真模块S-Pisces：二维硅器件模拟器Device3D：三维硅器件模拟器Blaze2D/3D：高级材料的2维/3维器件模拟器TFT2D/3D：无定型和多晶体二维/三维模拟器VCSELS：VCSELS模拟器Laser:半导体激光/二极管模拟器Lumino

4、us2D/3D：光电子器件模块Ferro：铁电场相关的介电常数模拟器Quantum：二维三维量子限制效应模拟模块Giga2D/3D：二维三维非等温器件模拟模块NOISE：半导体噪声模拟模块ATLASC解释器模块MixedMode：2维/3维组合器件和电路仿真模块2021/8/1412Silvaco学习器件仿真模块之后在输出窗口会显示出可用的模块：GoATLAS2021/8/1413Silvaco学习ATLAS仿真输入和输出2021/8/1414Silvaco学习MESH生成结构生成网格得到掺杂网格对结果的影响2021/8/1415Silvaco学习Mo

5、delsMobilityModels(conmob,analytic,arora,ccsmob,fldmob,cvt…)RecombinationModels(srh,auger,optr,trap)GenerationModelsCarrierStatisticsEnergyBalanceLatticeHeating2021/8/1416Silvaco学习MobilityModels2021/8/1417Silvaco学习RecomninationModels2021/8/1418Silvaco学习GenerationModels2021/8/141

6、9Silvaco学习GenerationModels(con’t)2021/8/1420Silvaco学习CarrierStatisticsModels2021/8/1421Silvaco学习LatticeHeatingandEnergyBalanceModels2021/8/1422Silvaco学习推荐的物理模型选择MOSFETs类型srh，cvt，bgnBJT,thyristors等器件类型Klasrh，klaaug，kla，bgn击穿仿真Impact,selb2021/8/1423Silvaco学习器件仿真流程2021/8/1424Silvac

7、o学习ATLAS语法格式ParameterDescriptionValueRequiredExampleCharacterAnycharacterstringYesmaterial=siliconIntegerAnywholenumberYesregion=1LogicalAtrueorfalseconditionNogaussianRealAnyrealnumberYesx.min=0.1ATLAS的语法格式：ATLAS的statement同ATHENA中的command参数类型及其要求如下：=

8、>2021/8/1425Silvaco学习肖特基二极管的例子ATLAS示例库diodeex01