AS镀膜培训报告总结2.ppt

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1、AS培训报告报告人：何维娜报告日期：2010.12.31气之作用氩气：轰击之作用氧气：氧化镀膜材料之作用氮气：清洁设备之作用氦气：检漏之作用AS镀膜分类AS镀膜为三大分类：蒸发镀膜.溅射镀膜.离子镀膜蒸发镀膜：在高真空中通过加热蒸发方式使镀料转化为气体凝聚在镀物表面溅射镀膜：在高真空中利用荷能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子在基片上沉积的一种技术离子镀膜：用一定能量的离子轰击靶材，分子脱离其表面，使靶材分子输运到衬底上的一种成膜方法AS镀膜机台部位名称英文简称中文名称英文简称中文名称IB离子源FV前级阀门（辅助阀）EB电子枪FL流量开关DEF除霜RV低抽阀（粗抽阀）

2、MV高抽阀（主阀）SRV慢粗抽阀DP扩散泵NT中和器RP机械泵RH高温电阻蒸发机MBP罗茨泵TVP冷冻管DV闸门SLV慢泄压阀LV放气阀门MWV主冷却水阀WV真空室冷却水阀AS操作面板项目操作面板九大项目（日.英.中）ライン监視Line生产线监视全体Overview真空动作监视搬送Carry产品输送成膜ブロセスCoat-process成膜步骤レシビRecipe处方模块ブロセス管理Process-set程序管理アラームAlarm警报コーテイリテイーUtility冷却系统界面メンテナンスMaintenance保养ライン监視（生产线监视）成膜炉数设定成膜炉数真空大气时间ST

3、7低真空壓力ST2~ST6低真空、高真空压力装载室、鍍膜室、卸载室玻璃输运地带.流程ST1高真空.低真空压力此画面主要是对整条镀膜线的监测.真空时间.大气时间.ST2~ST6的成膜数.自动运转许可显示全体（真空动作监视）DP.铜管状态镀膜室内照明装载室.镀膜室.运行动作完成时的警报开始.自动停止按钮手动.自动切换按钮设备排气系统主要是对设备局部运行的监视显示，该画面可做关机动作（auto-stop）镀膜室灯的控制按钮（start-light)时间设定自动开机操作（点击time进行设定）搬送（产品输送）ST2~ST6镀膜室，每室可放一套伞具产品输送进口一次可进5层手.自

4、动切换产品进料数显示地带输送操作系统非真空半自动输送操作手动操作输送.可倒走该画面是机械内部输送运行的监视.可自动/手动运转.手动可逆行.自动不能成膜ブロセス（成膜步骤）镀膜时间真空时间大气时间ST2~ST6腔体镀膜时高真空压力.高电压.低电流.成膜速率的画面镀膜操作画面个体炉腔镀膜操作画面（开始.停止.中止）显示.当其中一个发生故障，便会自动停止.也可手动操作镀膜室运行时（真空度.高电压.低电流.成膜速率）的监测显示该画面为镀膜操作时的重要一步（输入镀膜程序IDstart）レシビ（处方模块）多层膜程序离子清洗程序材料程序该画面为（多层膜.清洗.材料程序的相关电流.电

5、压.压力）数据显示ブロセス管理（程序管理）清洗登陆口令程序操作口令语言调整ST2~ST6成膜设定画面ST1程序设定画面仓体产品显示画面ST7程序设定画面开机时间设定各个腔体伞具的状态显示该画面是针对机械內部.部份程序（真空时间、腔体清洗、charge口令、语言、ID）的管理アラーム（警报）排气、输送系统警报画面ST2~ST6警报显示画面警报问题显示：当问题解释后.再按左下方的复位键该画面针对三个问题报警（排气系统.输送系统.ST2~ST6镀膜室运行）コーテイリテイー（冷却水系统）中央阀门冷却水通往ST2~ST6各设备的管道画面当机械需进行烘烤时.可点击此处.进入烘烤程

6、序冷却水动流画面显示.（可手动.自动）メンテナンス（保养）消耗进度排气系统耗材名称已消耗时间每个仓体需保养的画面当保养完毕后.可点此键.消耗进度可恢复为0可消耗时间MEP与RP介绍及保养MEP与RP性能：出抽真空MBPRP加油孔加油孔MBP：油量消耗极少，1年/次添加（专用型号-R4）RP：油量消耗大.只剩3/1程度需立即添油（专用型号R-7)添加量不能高于油圈上线范围，每周一/六确认油的份量RP：油易变脏，需常检查，当油色变脏/水进入油中，需全部更换MBP与RP共6个蓝色管道：冷却水.成膜过程中达到降温效果冷却机冷却机性能：通过铜管在机器内制冷凝结室内气体.达到真空

7、效果冷却机：3个4个异常灯：1.压力不足2.压力过高3.压力太低4.水温过高（20℃左右正常）2#测水温（13.0值→低）3#测铜管温度.压力4#入口.出口往返温度9#冷却机本体温度4个制冷灯：1.除霜完了2.除霜中3.排气中4.COOL制冷当温度达到-130℃时勿碰黑铜管，易破损离子源保养钨丝和电极.石英碗为主要保养对象当操作面板发出警报信号，显示IB（钨丝已到保养时间或者烧断的情况下）可进行保养钨丝：通常20H需更换一次，保养及更换工作完成后，进入操作面板画面切换Fi12运转即可电极：用相应的治具-砂纸打磨，把表面的污渍擦干净，用无尘布蘸酒精把电