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1、浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能级硅片工序厚度分选作业工序名称Hennecke厚度分选页码:第1页共6页文件编号Q03-SOP-版本A/0生效日期2009年5月8日作业说明物料名称工具工作服、1.穿好工作服,戴上手套。手套2.开机步骤:①打开电脑屏幕左边的总开关,如图1所示②打开主机启动按钮(test),如图2所示③依次打开1-5号电脑(Server、SawMarksTop、Geometry/Bow、EdgeSystem、SawMarksBottom)启动按钮,如图3所示④单击主操作界面上的ON,
2、如图4所示图1.电源总开关图2.主机启动按钮3.在电脑上输入硅片追踪单上的晶棒编号(Cutnumber、Positionnumber、Ingotnumber、Sawdate),见图54.选择所需要的测量参数文件(Recipe),见图6;然后单击屏幕上的电脑启动按钮主操作界面JobStart,再单击屏幕上的Start5.在运行硅片分选之前,将分选台上各分类盒参数归零。归零方法:按住BOX键,直至BOX键出现黄色闪烁(如图7),再次按下BOX键即可图3.电脑启动按钮图4.主操作界面批准审核编制修改履历浙江昱辉阳光能源
3、有限公司作业指导书产品名称太阳能级硅片工序厚度分选作业工序名称Hennecke厚度分选页码:第2页共6页文件编号Q03-SOP-39版本A/0生效日期2009年5月8日作业说明物料名称工具7.待分选机处于运行状态时,将装满硅片的花篮放置在Indexer1对应的上料台上(如图8),按下控制面板上Indexer1的Start按钮(如图9),再取另一装满硅片的花篮放置在Indexer2对应的上料台上,按下Indexer2的Start按钮,待第一个花篮的硅片全部进入分选机的检测模块后,另一上料台会自动切换送检硅片,依次循
4、环即可图5.晶棒信息输入图6.所需测量参数文件8.设备运行时,数据显示:①当前所用测量参数(Measuringserver->AVS->Qualityprogram),图10②每片硅片的具体测量结果(Measuringserver->AVS->Result),图11③当前所分选的晶棒每一分类的具体数目(Measuringserver->AVS->Statistic),图12图7.分类盒参数归零设置9.下料:①待分分选盒内硅片数目与盒内设定最大装片数目相等时,BOX键出现黄色闪烁,取出分选盒内的硅片后,按住BOX键
5、即可②更换另一晶棒进行分选时,先单击屏幕上的Stop单击Jobend输入硅片跟踪单上晶棒编号(Cutnumber、Positionnumber、Ingot图8.上料图9.控制面板Start按钮number、Sawdate)选择需要的测量参数文件(Recipe)单击浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能级硅片工序喷涂作业作业工序名称Hennecke厚度分选页码:第3页共6页文件编号Q03-SOP-版本A/0生效日期2009年5月8日作业说明物料名称工具屏幕上的JobStart单击屏幕上的Start10.关
6、机步骤:①单击屏幕上的Stop单击Jobend单击OFF②依次关闭1-5号电脑(SERVER、SawMarksTop、Geometry/Bow、图10.当前所用测量参数EdgeSystem、SawMarksBottom)③关闭主机按钮④关闭电脑屏幕左边的总开关11.按照电脑上显示的分类数据(Measuringserver->AVS->Statistic)填写在硅片追踪单上12.将分选完合格的硅片再次插入插片盒中退回清洗车间再次清洗,分选图11.硅片测量结果出的不合格的硅片分类包装注意事项:1.在上料前,先检查花篮
7、内是否有破损、超厚的硅片,若有则先将其挑选出来;检查硅片是否插斜,如有则要放正图12.所分选的晶棒每一分类的具体数目浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能级硅片工序厚度分选作业工序名称厚度模块单点校准页码:第4页共6页文件编号Q03-SOP-版本A/0生效日期2009年5月8日作业说明物料名称工具1.单击屏幕上的Stop单击屏幕上的Jobend,使皮带停止运转2.调整尺寸参数为150×150,等待挡板调整到位后,打开保护盒3.点击Measuringserver中的Thickness,然后单击Calibr
8、ate,弹出对话框KalibrierungKapazitiveDickenmessung,在Solwert栏中填入标准样片对图13.Measuringserver窗口应点的厚度,并放入标准样片4.单击Messung观察测量值是否与实际值有偏差,有偏差时单击进行校准即可。注意事项:1.厚度模块单点校准法每周校准一次图14.Kalibrieren窗口批准审核编制修改履历浙江昱
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