微波等离子体学习小结.ppt

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1、微波等离子体技术--学习汇报背景介绍010203Contents理论基础应用现状微波等离子体技术010203背景介绍1背景介绍微波等离子体特点：电子温度高5eV~15eV产生气体范围宽大气压强～10-6Torr1背景介绍方案特点直流放电有极放电，密度低，电离度低，运行气压高射频放电无极放电，密度与电离度有所提高，但应用范围受限微波放电等离子体为介电媒质，电磁辐射与等离子体为集体相互作用现有放电技术微波等离子体技术010203理论基础2理论基础气体的微波击穿1234微波传输系统中传输功率与模式场的关系微

2、波激励气体放电的电子速度分布函数微波电子回旋激励系统中气体放电的击穿条件微波电子回旋激励系统中的放电击穿功率5微波放电的击穿电场6微波放电能量馈入结构的要求2理论基础微波等离子体的反应器结构波导耦合型圆柱谐振腔型ECR(电子回旋谐振)型2理论基础微波等离子体的反应器结构波导耦合型微波等离子体技术010203应用现状微波等离子灯光通量光强亮度照度光效色温相关色温显色指数利用频率为2459MHz电磁能量来激励硫粉等发光物质，使其在石英泡壳中形成等离子体并发光的无极放电灯。微波等离子灯改变附加填充物对某一性

3、能的改变（激励硫粉发光）（1）氪85提高灯泡的启动性能（2）NaI等物质改变硫灯相关色温（3）低电离势物质提高光色的空间均匀性，熄灭特性，起辉可靠性等（4）氙气提高光效（同时加少量氩气，提高启动性能）（5）氖气，少量氩气降低放电电压，缩短启动时间改变主要发光物质（1）InBr(溴化铟)更接近太阳光谱，显色指数95，光效高于100lm/W（2）SnBr2(二溴化锡)，汞为辅助填充物，缓冲气体氩气配套光具反光罩与导光管微波等离子灯理论基础（1）发光原理硫在高温下主要以S2分子存在。在高气压1MPa和高温6

4、40摄氏度下，分子能级的激发引起紫外线辐射强烈的自吸收，使得可见光大大加强。（2）等离子体灯发光系统的光谱自吸收理论（3）等离子体发光系统扩散控制的击穿机理（4）微波等离子灯热状况理论分析微波输入功率越大，能量传递过程更加充分，等离子体温度上升，使趋肤效应的屏蔽作用更加明显微波等离子灯国内研究现状：微波等离子体灯并没有真正推广原因（1）没有真正的自主知识产权（2）稳定性差、光色偏绿、寿命短等缺点没有攻克谢谢！