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1、真空泵知识大全DryPumpThePrincipleDryPump是最基本的真空pump,它是利用螺杆原理來工作的,它主要的特点是可以从大气压下直接开始抽气,所以可以单独使用。一般真空度要求不高(E-3torr以下),如CVD及furnace仅使用drypump即可。TheCharacteristicFewermovingpartsHigherReliabilityLesscomplexityHighspeedTheWorkingPrinciple氣體從中間進入的優點:1.縮短了氣體通過pump的路徑,減少了particle的沉積2.減少了進口与出口壓差對軸
2、的影響,減小徑向扭矩Drypump用在chamber由大氣壓下直接抽真空,可以維持進出口壓差105倍。Drypump有電源(電源使馬達帶動螺杆式轉子轉動)。N2purge(稀釋防止particle沉積在間隙内),而且N2形成气帘防止rotor润滑油进入,产生污染。N2可以调整Ballast来选择性调整N2流量。Coolingwater(防止溫度過高使pump無法運轉)。TheFunctionDescriptionPpracticalityDiagramTheCharacteristicOiltemperaturecontrolled有很長的lifetimeO
3、ilpump中oil的品質對pump有很大影響,油品好,pump抽气能力強,使用時間長。TheOilFunction潤滑降溫密封OilPumpThePumpingProcedure1吸入2压缩3过压4排气CRYOPumpTheWorkingPrincipleCRYOPump為高真空pump,應該和低真空pump配合使用,工作前真空度應該達到10-2mbar,否則無法工作。當吸附氣體飽和后,要做regeneration,即將高溫N2通入使凝結的氣體釋放而排出pump。入口處擋片吸附水泡,裏面的特殊氣體吸附(成液態狀)。CRYOpump需要接一个compress
4、or通压缩的He。PrincipleDiagramTheFunctionDescriptionCompressor将he气压缩至约230psi,并将因气体压缩而产生的高温由coolingwater冷却,冷却后的高压he由管路送至PUMP,在cylinder中膨胀,气体膨胀时会降温,因此丛周围吸收大量热量,使80°Karray及15°K分别降温至80°K及15°K(-193°C,-258°C)。膨胀后的he压力约80psi,再经管路回至compressor中。当气体分子撞击此低温的array时,会凝结于array上,而达到减少空间中气体分子数量。事实上气体分子
5、并未离开chamber,只是被保留在PUMP上。80°Karray用以吸附H2O、碳氢化合物等易凝结的气体,15°Karray则用以吸附N2、O2、Ar、CO2、CO等气体。至于需要更低温度才凝结的气体,如H2、He、Ne等则使用活性碳(activecharcoal)吸附。当array吸附太多气体后其效率会明显降低,此时须做REGEN。RegenerationProcedurePurgeVacuumcontroller:AUTO切MANUALTurnoffiongaugeTurnoffpower通入热的N2After4hourstoroughingRough
6、ingCloseN2valveOpenvalve(ifblow50mtorr)ChillingDown通入He进行chilling,untilT=10±5k(利用冷冻原理,用compressor进行chilling,循环使用)RegenerationProcedureTurboPumpTheWorkingPrinciple由多級葉片組成,高速馬達驅動着Rotor,当气体分子因为扩散进入pump,将会受到rotor撞击而向后极加速前进。ThecharacteristicoftheTurbopump间隙很小,很容易堵塞间隙不一样长,从上注下,间隙逐渐变小roto
7、rPrincipleDiagramTheTurboPumpProtectionThedamagefactors外物:高速旋转的rotor若有外物掉入,会严重毁坏rotor,因此在入口处均有一金属网防止异物。突然vent:运转时突然有大量的气体进入,会撞击轴承会造成TurboPump的寿命缩短,一般TurboPump,可承受30至50次此情况。同时,TurboPump还有UPS蓄电池保护。TurboPump不能即停,会影响rotor和叶片,影响Pump寿命。TheWorkingPrinciple真空油被加热之后,获得极高的热能分子由喷嘴处向下喷射,且与周围气体
8、分子碰撞,由动量转移通过外接低真空pump将聚集在出
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