《真空知识及真空泵》PPT课件

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1、真空表，U形真空计，测得是相对压力，麦氏真空计，电子真空测出的是绝对压力？绝对压力一般在压力单位后标“A”，例20kPaA；相对压力一般在压力单位后标“G”，例-80kPaG（3）抽气速率单位换算52m3/h＝52×1000L/3600s＝14.44L/s1CFM（立方英尺/分）＝0.472L/s各种真空泵主要工作原理如图：在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚

2、好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环内界面之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。•综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。•水环真空泵由于用水或其它液体做工作液，所以其抽气性能及真

3、空度受工作液的温度影响较大，如果工作液的温度较高，真空泵的入口真空度达到液体的饱和蒸汽压，水（液）环真空泵便会产生气蚀现象，气蚀的存在对泵的寿命损害比较大，主要表现为叶轮叶片的根部及排气圆盘的排气口附近，有规则的气蚀冲击孔。为了避免气蚀的产生，可以降低工作液的温度，或者降低真空泵的使用真空度。•水环真空泵主要形式有老式的SK,2SK系列，新式的2BV,2BE系列。极限压力为3300~5000Pa之间。•旋片式真空泵如图为旋片泵的工作原理示意图。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，

4、转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，如图所示。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置被压缩，容积逐渐缩小

5、，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。如果被除气体中含有少量的水蒸汽，真空泵在工作时请打开汽镇阀，以提高旋片真空泵对水蒸气的耐受度。旋片式真空泵极限压力为0.05~1Pa。主要适合于高真空，洁净空气的工况3、滑阀式真空泵工作原理与旋片式真空泵相似，但对泵腔没有磨擦，因此

6、稳定性要好于旋片式真空泵往复式真空泵•往复泵的结构和工作原理如图所示，主要部件有气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2，活塞的驱动是用曲柄连杆机构3（包括十字头）来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。•运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气•缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减小，而形成抽气过程，此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到最右位置时，气缸左腔内就完全充

7、满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时，又重复前一循环，如此反复下去，被抽容器内最终达到某一稳定的平衡压力。•为提高抽气效率，一般在气缸的两端均设有吸气阀和排气阀，然后用管路将气缸两端的吸气口和排气口并联起来。•往复真空泵从安装形式来分，有卧式往复真空泵及立式往复真空泵；从油润滑来分，有有油往复真空泵及无油往复真空泵。卧式往复真空泵一般为有油式，立式

8、多为无油式。•水喷射真空泵•水喷射真空泵工作原理如图所示，高压水泵产生的具有一定压力的水通过喷嘴在吸入室内高速喷出，将水的压力能转变成动能，吸入室内的气体被高速射流挟带，是吸入室内的压力降低，被抽气体从吸入室的吸入口进入，从而实现抽真空的功能。•水喷射真空泵的动设备为一台高压水泵，关键部件