真空教育资料ppt课件.ppt

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1、上海中航光电子有限公司真空教育资料2013.8１．真空基础１－１何谓真空１－２单位２．真空用语２－１共通用語２－２泵相关用语２－３真空計相关用语２－４部品相关用语２－５技术相关用语３．真空泵３－１泵的体系３－２干泵３－３机械升压泵３－４涡轮分子泵３－５冷泵４．真空計４－１真空計的种类４－２热电偶气压计４－３热压力计（皮拉尼压力计）４－４隔膜真空計４－５电离真空計４－６真空計的用途分类５．传导性与排气时间５－１传导性５－２传导性的合成５－３排气时间的计算５－４真空容器的平衡圧力６．泄露与气体释出６－１泄露６－２气体释出６－３排气曲线７．真

2、空的判断７－１泄露试验７－２氦气检漏仪７－３四重极质量分析计７－４加高法１．真空基础１－１．何谓真空真空是指低于外界压力的容器内的压力状态。（低于1大气压的压力状态）大気圧～１０－３Ｔｏｒｒ（１．３×１０－１Ｐａ）→粘性流＜１０－３Ｔｏｒｒ（１．３×１０－１Ｐａ）→分子流以下是真空利用范围及使用实例。真空使用事例压力受分子の密度、促使分子移动的能量（热能）影响。圧力　＝　分子密度（数）　ｘ　分子移動能量(熱)由此可见，制造真空有两种方法・减少分子数的方法・去除分子移動能量的方法真空创造方法分子少移动能量低1-2.单位压力的单位换算常用单

3、位1Torr=133.3Pa1Pa=7.50×10-3Torr２．真空用語２－１．共通用語１）低真空：１０２Ｐａ以上的真空２）中真空：１０２～１０－１Ｐａ的真空３）高真空：１０－１～１０－５Ｐａ的真空４）超高真空：１０－５Ｐａ以下的真空２－２．泵相关用语１）主泵：用于真空系排气、保持压力的真空泵。２）辅助泵：用于维持其他泵背压的真空泵３）排気量：通过泵吸气口的气体流量（Ｐａｍ３／ｓｅｃ）４）排気速度：通过泵吸气口的气体的体积流量（ｍ３／ｓｅｃ）５）吹扫氮气：为防止内部腐蚀、生成物的生成而通入泵内的氮气。２－３．真空计相关用语１）測定子：

4、装在真空室内的真空计构成部分。（真空表）２）真空表口：将測定子装在真空容器上的安装口。２－４．相关部品１）Ｏ型圈（垫片）：断面为圆形、整体亦为圆形的垫片、一般材料为氟化橡胶、氯丁橡胶，使用环境（温度、气体条件等）所用材质也不同，使用时应加以注意２）金属垫片：高温、超高真空容器用垫片。。主要材质多为铜（Ｃｕ）。垫片一经使用即有伤痕，不得再用。３）真空润滑油：蒸汽压低的润滑油。需注意因使用环境不同材质也有所区别多为硅、氟化系。４）波纹管：薄壁金属管，用在将外部的伸缩动作传导到真空容器内的地方，抗撞击性弱，使用时应小心。用成形、焊接等方法制造

5、。５）法兰：:刀刃的前端与金属垫片咬合，起真空密封作用的法兰。６）快速耦合接头：易于拆卸的弓型接头。（ＮＷ２５、４０等）注意不要因螺丝旋得过紧引起破损。２－５．与技术相关用语１）到达压力：真空装置、泵经过足够长时间的排气，在基本可以忽略压力减少时的压力２）背压：将气体排到低于大气压的空间内时真空泵排气口处的压力３）饱和蒸汽压：在某一温度下达到凝缩及热力学平衡的蒸汽所显示出的压力。４）平均自由工程：在气体中自由运动的粒子（分子、原子、电子等）在相互碰撞过程中飞行的平均距离。５）粘性流：气体分子的平均自由工程相对于配管断面的最大尺寸而言足够

6、小时，配管内的气体流。６）分子流：气体分子的平均自由工程相对于配管断面的最大尺寸而言足够大时，配管内的气体流。７）传导性：气体在管或出口处流动时，表示气体流通难易程度的数值。（ｍ３／ｓｅｃ）泵的作用就是减少分子数、消除分子的移动能量。３．真空泵减少分子数Ｐ泵促使分子排出消除分子移动能量ＰＰＰ消除分子能量将其积存在泵中１）泵按照真空方式的分类３－１．泵的体系减少分子数（移送式泵）消除分子移动能量（积存式泵）干泵（ＤＲＰ）旋转泵（ＲＰ）机械升压泵（ＭＢＰ）（螺旋泵）涡轮分子泵（ＴＭＰ）冷泵（ＣＰ）※一般所谓真空泵，除上述之外种类仍不胜枚举，

7、本资料仅就通常使用的泵进行说明。２）真空泵的种类ドライ回転ポンプ真空泵的动作范围３－２．干泵１）干泵排气原理泵的内部构造如右图所示，通过转子的旋转，使得吸气侧的气体向排气侧移动。另外，因箱盒与转子间的空隙非常小，不会产生逆流。苜蓿叶型－特征－・排气能力可从大気圧到１０－１Ｐａ。・真空部内不需要润滑油,可以制造洁净的真空。・泵价格非常昂贵。※驱动齿轮部需要润滑油（主要厂家：荏原製作所、ＢＯＣＥｄｗａｒｄｓ）２）干泵的种类干泵的转子形状视厂家不同而各有差异。右图是常见的干泵型号，包括苜蓿叶式在内共5种。在单纯用干泵排气能力不够时用作升压泵。

8、（单体无法使用。）与干泵组合在一起、排气能力可达大気圧～１０－３Ｐａ左右。（主要厂家；荏原製作所、ＢＯＣＥｄｗａｒｄｓ）３－３．机械・升压泵（ＭＢＰ）吸气排气干泵１）涡轮分子泵的排气原理转片转片定片定片吸气