LED芯片制程工艺培训分析ppt课件.ppt

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1、蓝宝石工艺制程培训资料27七月2021LED：LightEmittingDiode的简称，即发光二极管，是一种将电转化为可见光的物质，其核心是PN结，当P区的空穴和N区的电子复合，将多余的电势能以辐射光子的形式释放出来。LED芯片分二元，三元，四元芯片的主要是看：所用的材料里含几种元素两个元素，称二元片（GaP磷化镓）,三个元素称三元片（GaAlAs镓铝砷），四个元素称四元片（InGaAsP磷化铝铟镓），现目前LED主要使用四元片半导体介绍：P型空穴N型电子PN结厚度约为10-7mE=通电后，电子、空穴复合发光λ跟材料有关系能带工程，大

2、原子结合能带小如InSn、GaP、GaAs小原子结合能带大如GaN、AlGaN+一载流子PN++++一一一一hγ=h——c供体硅光发射的电子跃迁27七月2021蓝宝石产品介绍27七月2021PSS蓝宝石衬底图片27七月2021主要产品图像展示7*910*2312*13图片解析1、尺寸大小不同2、图形不同光刻版的选择光刻版的选择1023多一层互补SIO227七月2021芯片结构N电极P电极沟槽ITO铟锡氧化物半导体透明导电膜扩流层上：SIO2下：N-GaNP-GaNSIO2圈ITO圈互补SIO2层SI02氧化硅SIO2ITO铟锡氧化物ITO

3、GaN缓冲层MQW量子阱AlGaNP-GaNn-GaNn-GaNSI02SI02互补SIO2层俯视图一俯视图二切面图三27七月20217*9制程工艺流程外延片清洗去胶、清洗去胶、清洗SiO2沉积下游封装外延片清洗ITO蒸镀ITO光刻（甩胶、曝光、显影）ITO腐蚀ITO合金N光刻（甩胶、曝光、显影）ICP刻蚀SiO2腐蚀P/N电极蒸镀金属剥离COW测试研磨（减薄、抛光）划片、裂片点测中游成品SiO2光刻（甩胶、曝光、显影）手选27七月2021蓝宝石基板Al2O3(430um)公司采用的外延衬底片分2种：平面衬底、PSS衬底外延片的区别方式：

4、平面外延片目测比较透，PSS目测颜色偏深平面外延片镜检下无图形，PSS于500倍下有图形平面外延片号后缀-BF，PSS的后缀-PF1、外延片的认识PSS外延片500倍正常表面平面外延片500倍正常表面蓝宝石目测体27七月20211、外延片清洗Al2O3(430um)GaN缓冲层n-GaNMQW-发光层AlGaN应力释反晶格层（防止高温应力损坏）P-GaNGaN缓冲层n-GaNMQWAlGaNP-GaN设备：清洗机台甩干机超声器工艺：丙酮超声5min，无水乙醇超声2min，冲DI水，BOE泡5min，冲水甩干目的：杂质会影响光刻及镀

5、膜等工艺的质量，导致显影不良或接触不牢。27七月20212、ITO蒸镀Al2O3(430um)GaN缓冲层n-GaNMQWAlGaNP-GaNITO铟锡氧化物InGaNMQWp-GaN(Mg)0.3mp-AlGaN(Mg)0.02-0.15mGaN缓冲层n-GaNMQWAlGaNP-GaNITO设备：富临蒸发台工艺：真空度：3.0e-6Torr，温度310℃，005程序，蒸镀时每个行星盘搭蒸1片BK7测试参数：BK7玻璃T%＞90%，方块RS＜10欧姆27七月20213、ITO光刻-甩胶Al2O3(430um)GaN缓冲层n-GaNM

6、QWAlGaNP-GaNITOInGaNMQWp-GaN(Mg)0.3mp-AlGaN(Mg)0.02-0.15mGaN缓冲层n-GaNMQWAlGaNP-GaN光刻胶设备：甩胶机烘箱工艺：手动甩胶：正胶、前烘100℃20min自动甩胶：粘胶剂、正胶、前烘100℃20min注意项：1、光刻需注意甩胶时外延片与甩胶头之间不能偏移太多，否则会导致光刻胶甩不均匀，直接影响曝光显影；2、前烘温度时间一定要控制好，不能变化，否则会导致光刻胶太软或太硬，影响曝光显影；3、对版容易出现失误，导致对偏、破胶、显影不干净等不良现象，所以对版后需要进行仔

7、细检验;4、显影液温度和更换频率也会影响显影，故亦需进行监控……光刻胶ITO27七月20213.2ITO光刻-曝光Al2O3(430um)GaN缓冲层n-GaNMQWAlGaNP-GaNITOGaN缓冲层n-GaNMQWAlGaNP-GaN光刻胶ITO光刻胶光刻胶（感光胶体）设备：尼康曝光机25s、ABM曝光机15s工艺：手动曝光：光刻版：LP-0709A-2E自动曝光：光刻版：LP-LBS-0709C-2A-1010，坚膜110℃10min27七月20213.3ITO光刻-显影Al2O3(430um)GaN缓冲层n-GaNMQWAlGa

8、NP-GaNITOGaN缓冲层n-GaNMQWAlGaNP-GaN工艺：90s，每次只显25片ITO光刻胶光刻胶27七月20214、ITO腐蚀Al2O3(430um)GaN缓冲层n-GaNMQ