洁净区环境监测要求.docx

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1、；10万级洁净区环境监测要求监测项目技术要求监测方法监测频次温度18～28OC（十万级、三十万级）JGJ71-901次/班湿度45～65％（十万级、三十万级）JGJ71-901次/班换气次数十万级≥15次/小时JGJ71-901次/月≥5Pa（不同洁净级别洁净室JGJ71-90（区）之间）静压差≥10Pa（洁净室（区）与室外）1次/月≥5Pa（洁净室（区）之间与非洁净室（区））≥0.5μm≥5μm尘埃粒子GB/T16292-19961次/季十万级≤≤20000个/m33500000个/m3浮游菌十万级≤500个/m3GB/T1

2、6293-19961次/季沉降菌十万级≤10个/皿GB/T16294-19961次/周’.；100级和10000级洁净区环境监测要求技术要求监测频监测项目监测仪器测量位置100级10000级次温度(℃)温湿度计18-2818-28洁净区各室1次/班湿度(%)温湿度计45-6545-65洁净区各室1次/班水平层流≥04风速(m/s)——垂直层流≥0.3风速仪送风口1次/月换气次数——≥20(次/h)静压差≥5≥5不同洁净区之间1次/微压差计(Pa)≥10≥10洁净区与室外月尘埃粒子≥0.5um≥0.5um洁净区内关键操作数尘埃粒

3、子≤3500≤35000点及100级超净工1次/季(个计数器≥5um≥5um作台/M3)0≤2000沉降菌落洁净区内关键操作培养皿≤1≤31次/周数(个/皿)点洁净区内关键操作浮游菌落浮游菌采≤5≤100点及100级超净工1次/季数（个/?）集器作台’.