洁净区环境监测规程

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1、洁净区环境检测规程1目的规定洁净区的控制指标和检测方法，有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度，满足生产和检测环境的要求。2范围本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。3职责化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。4.工作程序4.1检验项目温度、湿度、压差、风速（换气次数）、尘埃粒子数、菌落数。4.2温度、湿度4.2.1要求洁净区温度（18-28）℃，相对湿度（45-65）%4.2.2仪器与设备温湿度计温湿度计必须在检定合格周期内4.2.3操作方法目测温湿度计4.2.4测定频次1次/班4.3压差4.3.1要求洁净室与室外压差≥10Pa，洁净室与非洁净室≥5Pa，不同级别

2、洁净室之间≥5Pa。4.3.2仪器与设备微压计微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。4.3.3操作方法用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。4.3.4测定频次1次/月4.4换气次数/风速4.4.1要求如表1所示：表1各级别洁净区风速的技术指标级别100级10000级100000级300000级风速m/s水平层流≥0.4——————垂直层流≥0.3换气次数次/h——≥25≥15≥124.4.2仪器与设备风速计风速计必须在检定合格周期内。4.4.3操作方法4.4.3.1用风速计距风口下25cm处测量风速，采样点为风口的四个顶角及中心位置（不少于5

3、点）。计算5个点风速平均值，为一个风口的风速。4.4.3.2换算公式：换气次数=∑（高效送风口风速×高效送风口面积）被测房间体积4.4.4测定频次：1次/月4.5尘埃粒子数4.5.1要求如表2所示：表2各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标级别100级10000级100000级300000级尘埃数粒/m3≥0.5μm≤3500≤350000≤3500000≤10500000≥5.0μm0≤2000≤20000≤600004.5.2仪器与设备尘埃粒子计数器4.5.3内容（1）用尘埃粒子计数仪在高度0.8米水平面上的位置采样，总采样次数不少于5次。（2）最少采样点数目的确定如3表所示：表

4、3：最少采样点数目面积m2洁净度级别100级10000级100000级300000级＜102～3222≥10～＜204222≥20～＜408222≥40～＜10016422≥100～＜200401033≥200～＜400802066≥400～＜1000160401313≥1000～＜20004001003232≥20008002006363注：对于100级的单向流洁净室（区），包括100级洁净工作台，面积指的是送风口表面积；对于10000级以上的单向流洁净室（区），面积知道是房间面积。（3）采样点的位置采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。采样点多余5点事，也可以在

5、离地面0.8m至1.5m高度区域内分层分布，但每层不少于5点。采样点分布见附录A（4）采样次数的限定对任何小洁净室（区）或局部空气净化区域，采样点的数目不得小于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多余一次，且不同采样点的采样次数可以不同。（5）采样量不同洁净度级别每次最小采样量见表4表4最小采样量最小采样量L/次洁净度级别100级10000级100000级300000级≥0.5μm5.662.832.832.83≥5.0μm8.58.58.58.5（6）采样注意事项对于单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口应正对气流方向；对于非单向流洁净室（区），粒子计数器

6、的采样管口宜朝上。布置采样点是应尽量避开风口。采样时，测试人员应在采样口的下风侧，并尽量少活动。采样完毕后，宜对粒子计数器进行自净。应采取一切措施防止采样过程的污染。4.5.4采样结果的计算（1）采样点的平均悬浮粒子浓度A采样点的平均悬浮粒子浓度A的计算公式：A=i=1nCin式中：A—某一采样点的平均粒子浓度，粒每立方米（粒/m3）Ci—某一采样点的粒子浓度（i=1,2,3，…，n）,粒每立方米（粒/m3）n—某一采样点的采样次数，次（2）平均值的均值M平均值的均值M的计算公式：M=i=1LAiL式中：M—平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒每平方米（粒/m3）Ai

7、—某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2,3，…，n），粒每平方米（粒/m3）L—某一洁净室（区）内的总采样点数，个（3）标准差SE标准差SE的计算公式：SE=（A1-M）2+（A2-M）2+（A3-M）2+…+（AL-M）2L（L-1）式中：SE—平均值均值的标准误差，粒每平方米（粒/m3）（4）95％置信上限（UCL）95％置信上限（UCL）计算公式：UCL=M+t×SEUCL—平均值均值的95％置信上限，粒每平方米（粒/m3）t—95％置信上限的t分布系数，见表5采样点数L2345678