洁净室的静压差检测 洁净室的静压差检测.doc

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1、洁净室的静压差检测洁净室的静压差检测：此项检测的目的是为了测定洁净室洁净棚的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内外气流间被污染。(1)检测要求①静压差的测定要求在洁净区内的所有的门全部关闭情况下进行。②在洁净室平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。③测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。④所测量记录的数据应精确到O.lPa。(2)普通传递窗检测方法①先关闭所有的门。⑦用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。③记录所有数据。(3)测量仪器采用YJB-150补偿微压计，量程0—1

2、500Pa或其他微压力计，仪表灵敏度小于O.lPa。(4)合格标准按照传递窗原理洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。①不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于4.9Pa。②洁净室（区）与室外的静压差，不应小于9.8Pa。③对于空气洁净度等级严于5级（100级）的单向流洁净室在开门时，门内0.6m处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。④若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量，至合格为止