几种主流扩散炉各项对照GOODppt课件.ppt

《几种主流扩散炉各项对照GOODppt课件.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、Differencesbetweencentrothermandtempressdiffusionfurnacezerui2010.11.29CONTENT基本构成—centrotherm基本构成—tempress炉体部分—centrotherm炉体部分—tempressTempress炉体部分与centrotherm的相同之处Tempress炉体部分与centrotherm的不同之处LoadstationGascabinate—centrothermGascabinate—tempress控制及监控系统基本构成—centrothermCentrotherm扩散炉机

2、台主体由装载系统，TGA，炉体部分和气源柜四部分组成。其各部分功能如下：1.装载系统：用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内，以及将扩散完成的硅片传送到上料台。2.TGA（ToxicGasExhaust）：用于驱动炉门，吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。3.炉体部分：机台的核心部分，由五个炉体及相关的电源系统和控制系统组成。4.气源柜：用于提供扩散工艺过程所需的各种工艺气体，以及将扩散过程中产生的尾气通过酸排风系统排出。基本构成—tempresstempress扩散炉机台主要由装载系统，炉体部分，气源柜和配电箱组成。其各部分功能如下：1.装载系统：用

3、于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内，以及将扩散完成的硅片传送到上料台。2.炉体部分：机台的核心部分，由四个炉体和温度控制系统以及炉门控制系统组成。3.气源柜：用于提供扩散工艺过程所需的各种工艺气体，以及将扩散过程中产生的尾气通过酸排风系统排出。4.配电箱：用于提供机台所需的动力电源。炉体部分—centrothermcentrotherm炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源，相当于tempress的电源柜。控制柜动力柜炉体控制柜动

4、力柜CCC电脑放置处动力柜动力柜中的变压器机体温度监控CCC控制电脑与CMSCCC控制电脑（CellControlComputer）中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM（CentrothermCellControlRecipeManager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。CMS（centralmachinesafety），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在CMI电脑用户界面上。CMSCCC电脑CESAR控制电脑温度控制器CESAR控制电脑(每个炉管有一个):其作用为：创建或更改recipe，定义

5、recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流），start，stopandcancelrecipe，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进行通讯，监视报警/中断状况（气流，温度，压力），通过级联控制器控制温度，通过级联温度控制进行自动拉温，存储一定数量的recipe，记录用户定义的工艺数据，对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）温度控制器（每个炉管有一个）：采用REG97温度控制器，硬件部分由controller，transducer，pulseskippingunit组成。控制柜动力柜UPS电源炉体电力配置箱，变压器

6、动力柜，控制柜，炉体与变压器分布SpikeTC温度测量模块SpikeTC供电超温监控CMS（机器安全系统）冷却水管接口冷却水管接口SpikeTC炉体情况接线柱SpikeTCSpikeTC（包含两根热偶，一根用于超温报警，一根用于工艺控温）石英管工艺气体进气管PaddleTC放置口尾气管放置炉丝及炉管炉丝与接线柱接口设计炉门控制系统-TGACentrotherm的炉门系统由专门的控制装置TGA（ToxicGasExhaust），其上有热排风来抽走炉门开关过程中可能释放出的有毒气体和热量。TGA炉门开关驱动电机炉门进出驱动电机炉门装置炉体部分—tempressTempr

7、ess的炉体部位由加热炉体，散热层，DTC控制箱和炉门控制系统组成。热排风冷却水顶层散热层加热炉体层底层炉体柜中有四个炉体，炉体由加热电阻丝与保温材料做成。炉体分五个温区，每个温区插有一个SpikeTC(其中1、3、5温区有两组热偶,其中一组接ETC)，此外炉体上还有六个加热电源线接线端子。炉体SpikeTC加热电源线铬铝钴铁合金加热丝SCR（可控硅）DTC（数字温度控制）DTC和SCR变压器超温监控当“HeatingPowerSwitch”打到ON时，380V的电被送上，“ControlPowerSwitch”打到ON时，设备用的220V低压电被送上。炉管的加