电子 离子 激光束加工的区别.doc

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1、电子束加工、离子束加工和激光束加工的区别：n一、原理不同：①电子束加工：在真空中从灼热的灯丝阴极发射出的电子,在高电压(30～200千伏)作用下被加速到很高的速度，通过电磁透镜会聚成一束高功率密度的电子束。当冲击到工件时，电子束的动能立即转变成为热能，产生出极高的温度，。②离子束加工：当离子（正离子）束打击到材料表面上，会产生所谓撞击效应、溅射效应和注入效应，从而达到不同的加工目的。③激光加工：经过透镜聚焦后,在焦点上达到很高的能量密度，光能转化为热能，靠光热效应来加工的n二、应用不同：①电子束加工：1）高速打孔2）加工型孔及特殊表面4）焊接5）热处理6）电子束光刻

2、②离子束加工：1）刻蚀加工2）镀膜加工3）离子注入加工③激光加工：1）激光切割2）激光打孔3）激光打标4)激光焊接5）激光热处理6)激光雕刻n三、装置不同：与电子束和离子束加工装置比起来，激光束加工装置比较简单。n