简析电子束、离子束、激光束加工的区别.doc

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1、简析电子束、离子束、激光束加工的区别？答案：1.加工原理：电子束和离子束的加工原理相似，都是发生撞击效应、溅射效应和注入效应，从而实现加工；而激光束加工的机理是热效应。2.加工装置：电子束和离子束相似，主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、和电源系统做成；而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。3.加工特点：电子束：（1）.束径小、能量密度高；（2）.非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力，不产生宏观应力和变形；（3）.被加工对象范围广；（4）.电子束能量高，加工速度快、效率高；

2、（5）.电子束加工需要一套专用设备和真空系统，价格昂贵。离子束：（1）.加工精度和表面质量高；（2）.加工材料广泛；（3）.加工方法丰富；（4）.性能好，易于实现自动化；（5）.应用范围广泛，可根据加工要求选择。激光束：（1）.加工精度高；（2）.加工材料范围广；（3）.加工性能好；（4）.加工速度快、效率高；（5）.价格昂贵加工方法：电子束;（1）.电子束扫描曝光；（2）.电子束投影曝光；（3）.电子束表面改性。离子束：（1）.离子束溅射去除加工；（2）.离子束溅射镀膜加工；（3）.离子束注入加工；（4）.离子束

3、曝光加工。激光束：（1）.加工精度高；（2）.加工材料范围广；（3）.加工性能好；（4）.加工速度快、效率高；（5）.价格昂贵。