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时间:2020-09-20
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1、碎片改善报告一、常见碎片原因及分析二、具体碎片分析三、改善意见一、常见碎片原因及分析1、1号机暂时存放PECVD送片的桌子上会有其他物品,比如笔,镊子等,若PECVD送片时没有注意,将载片蓝放到上面,很容易造成坏片,希望1号机时刻注意,确保暂时存放区没有其他异物。2、推片器推坏片子时要分清是PECVD装篮时装的斜片,还是由于推片器的位置不正确推坏的片子,此时要及时将载片蓝卸下,寻找坏片原因。3、如图,此处贴的警戒胶带很容易造成滑片,会误以为是推片器故障,接班时要仔细检查,若不平整需及时跟换。4、出片和进片传送臂上的胶带很容易断裂,一旦断裂
2、,轻则会造成带片、滑片现象,重则刮坏片子,当班期间时刻注意,一旦发现立刻更换。5、正片夹如果经常夹坏片子要注意是否是滑片造成的,同样力度大了也会夹坏片子,6、翻片器是机损比较大的一个部位,如果翻坏片子,看形状,如果是不规则的两半,一般是由于翻片器的两个臂不平造成的,如果是非常整齐的则说明是隐裂。7、烘干炉内的抓手如果抓坏片子要找准原因,看是设备故障还是由于敲片时把片子敲歪造成的。8、为了减少翻片器对片子的损伤,在传送臂上垫两块无尘布,起到缓冲作用9、铝粉,三号机在印刷前经常会看到蓝膜上粘有铝粉,若不及时擦掉轻则断栅,严重的则会导致硌片。1
3、0、三号机的托盘非常容易撞坏片子,这就需要设备人员将传送臂调高或将托盘调低。11、三号机抓手经常带片,在烧结炉经常看到片子是歪着出来的,这是由于抓手上的胶带断裂造成的,有时严重的化会把片子带回到传送臂上造成碎片,这时就要重新贴胶带,避免再带片。12、检测出抓手容易掉片,若正常情况下经常掉片就需要设备人员进行维修,否则需要手工捡片。在生产过程中,操作员在暂存区拿片时要注意机械手臂的运行规律,防止片子被撞坏。13、检测探针经常插坏片子,可能是探针不齐造成,也可能是片子弯曲较大,抓手在放片时会偏里或偏外,然后正片夹会把片子夹歪,造成探针压碎片子
4、。14、在分类传送臂的吸盘下,经常会有小的碎片,若不及时清理,很容易造成裂片。15、换纸时要注意印台纸的筛选,确保印台纸平整光滑,没有纸疙瘩和其他异物。16、更换印台纸时注意要避免干胶带和异物进入印区造成硌片。17、碎片时要仔细处理碎片,把支腿升起擦干净。18、效率不准时工艺要求重测,这样会在无形中增加碎片。19、如果是片子弯曲度比较大或者是抓手在把片子放到传送臂上时有偏差的话需要专人在此处扶片,减少被探针插坏的几率。20、收盒时注意机械手臂的运动规律,避免被撞,造成整包片子掉落。21、送片时注意周围来往的人员,防止相撞,把片子安全送给包
5、装。二、具体碎片分析(一)、人为硌片1、更换印台纸不当导致的人为硌片由于换纸前未对印台纸检查或检查不到位所致。表现在该张印台纸上印刷过的片子碎,再次换纸后碎片现象消失。为了避免此种情况的发生,应提前将纸打好,换纸前对印台纸进行仔细检查,重点针对四个孔的边缘,将孔的毛边去除,确保印区内纸面的平滑无瑕疵。2、印台有异物而导致的人为硌片由于工作状态不佳,不能第一时间发现印台的异常情况,或者碎片处理不彻底,换纸擦拭印台不仔细,以及印台纸四个孔的毛边都会造成硌片。一般表现为固定印台碎片,更换印台纸后碎片情况消失。为了避免这种情况,就要操作员时刻保持
6、最佳工作状态,能在第一时间发现异常,在换纸时仔细检查印台纸,确保印台纸没有问题。3、网版印刷区域内粘有异物导致人为硌片主要是因为印前硅片上的异物粘到网版上,碎片未处理干净粘到网版上,擦网版时无尘布上的异物粘到网版上。表现为印后发现每片都碎且形状一致,检查印台未发现异常,升起网版时发现网版上粘有异物,擦去后现象消失。确保进片上没有异物,确保印台时刻保持清洁。4、由于擦拭印台的力度不当使印台纸不平整而导致的间断性硌片这是由于印台纸过度受损,使其起毛或褶皱,导致硌片。主要表现为间断性出现碎片,更换印台纸后现象消失,预防措施为保证擦拭印台的力度,
7、做到不轻不重,力度适中。(二)、因人员疏忽大意而导致的摔片及设备碎片1、工作不在状态所导致的摔片一般常发生在一号机和检测,由于操作员当时的心不在焉没有注意周围人员,从而导致操作的失误,出现整框硅片的洒落、检测操作员的整包摔片、收盒时被机械手撞击所致的碎片,防止类似事件的发生需要操作员专心致志工作,保证充足的睡眠,在上班期间调整到最佳的精神状态。2、可避免的设备碎片此情况经常出现在传送臂卡脚、翻片器、三号机托盘,分检吸盘,检测探针等,这主要由于操作员注意力不集中,不能第一时间发现异常,以及对设备的不了解,经常误分析碎片原因,比如三号机托盘撞
8、到片子,使两个或以上的片子叠在一起,后在送片抓手那报警,操作员发现后以为是抓手抓坏片子,反映给主机手和设备人员错误信息,以至无法在第一时间内解决碎片问题。以后操作员要认真分析碎片原因,不乱下结
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