Hipace 700分子泵组简易说明.doc

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1、Hipace700分子泵组简易说明尊敬的客户您好!感谢您选择Hipace700分子泵组。为了让更多客户体验Pfeiffer产品的卓越性能，我们以极其低廉的价格提供这款由世界上最先进的复合涡轮分子泵和ACP多级罗茨干泵组合而成的分子泵组，本款泵组使用操作非常简单，，我们保证产品为采用一流材质及工艺制造、全新并符合出厂标准。本产品的使用操作请参考如下：（我们以Hipace700分子泵组PKR251组合为例)1.安装及与真空室连接ü将分子泵抽气口与您的真空室及真空规管连接。需要的零件可能包括：三通转接（一端接分子泵、一端连接真空室、一端连接真空规管）、中心环及胶圈（CF口为无氧铜密封圈）、卡钳（I

2、SO-K需要4个卡钳，CF口为螺栓）、波纹管、配套的KF25卡箍或其他连接件。ü将规管线一端连接DCU后部X3口，一端连接到规管ü将分子泵机组连接到电源，可能需要一根电源线（类似台式电脑电源线即可）2.DCU使用说明ü当分子泵机组通电后，DCU经过自检后，即可使用。ü通过DCU，可以显示并修改分子泵组参数。同时按左右箭头（必须同时！），当出现虚线箭头时，可以通过左箭头或者右箭头调整参数，当再次同时按左右箭头时，则修改被保存。若想修改有效，必须进行保存。3.开机及设置ü确认膜片泵上的开关为开的状态，并且膜片泵的电压选择开关为220Vü开启泵组总电源、按一下DCU上按键，分子泵组启动第一次使用分

3、子泵机组，您可能需要设置一些参数：ü按左或者右箭头切换参数794，将参数794的设置值改为1并保存；此时将可以显示更多参数ü切换到参数023，如果此参数值显示为off，则需修改为onü切换到309，此参数显示分子泵即时转速（Hz）ü切换到310，此参数显示分子泵即时电流（A）ü切换到340，此参数显示真空规管度数（mbar）ü切换到795，修改此参数为任意的参数号，如340。则之后机组一开机，DCU会自动显示所设定的参数号的数值，如选择340，则显示规管度数（mbar）2.关机及放气ü如需要暂时停止泵组的工作，按一下DCU上按键，分子泵组停止供电，此时膜片泵停止、分子泵开始减速，DCU上仍可

4、显示。如果需要长期停止工作，可以再关闭泵组总开关。ü分子泵的减速时间可能会比较长，可以通过放气阀（Ventvalve）导入一定量的气体来增加负载，缩短减速时间。Hicube80E标配有手动放气阀，如需自动放气阀请同销售人员沟通。ü在分子泵的侧面带有手动放气旋钮，逆时针旋转旋钮为放气，顺时针旋转为封死放气孔。请注意，打开放气孔前请确认分子泵已经停止供电、开始自然减速。放气旋钮应缓慢打开，不适当的放气可能导致分子泵寿命降低。ü再次启动分子泵前请确认放气旋钮为封死状态。3.注意事项及维护保养须知ü请确认没有颗粒物会掉入或者被吸入分子泵。进入泵内的颗粒物可以损坏转子，导致泵报废ü在分子泵没有完全停止

5、的情况下，请不要移动分子泵组ü当抽出的气体中可凝性气体含量较多时，请打开多级罗茨干泵的气镇阀，罗茨干泵的维护周期一般为连续运行22000小时。