涡轮分子泵说明.doc

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1、涡轮分子泵说明相关零件资料如下：TURBOMOLECULARPUMPTG220FVWB-94涡轮分子泵POWERSUPPLYTOTMPTC223-10涡轮分子泵供电中频电源REMOTETRANSFORMCABLEONP/SSIDE连接线MOTORTRANSFORMCABLEONP/SSIDE连接线MOTORTRANSFORMCABLEONBODYSIDE连接线该涡轮分子泵及配套电源用于电子束焊机电子枪室的抽真空，真空度要求高。主要规格：排气速度：N2220L/s最大压缩比：N21×108到达压力：

2、＜1×10-8Pa起动时间：1—1.2min停止时间：2.5—3.5min所需冷却水量：0.4l/min以上所需电力：最大400VA工作原理：涡轮分子泵是应用高速旋转的叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向活动的原理来抽气。其优点是启动快，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能取得清洁的超高真空。性能和特性：泵的排气压力与进气压力之比称为紧缩比。紧缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体品种有关。分子量大的气体有高的紧缩比。对氮(或空气)的紧缩比为108～109;对氢为102～

3、104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕,工作压力范围为10-1～10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒(1升＝10-3米3)。涡轮分子泵必需在分子流状态(气体分子的均匀自在程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才干显现出它的优越性,因而请求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵自身由转速为10000～60000转／分的中频电动机直联驱动。