机台菜单匹配规定.doc

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1、文件标题（Title）设备菜单匹配管理规范文件类别：√Q(质量)□S(EHS)□C(S+Q)一、文件拟制、审核：部门拟制者签名日期审核者审核者签名审核日期工程部刘逵李祥二、文件会签：部门会签人员签名日期部门会签人员签名日期质量部费诵秋工程部段锋TD夏长奉M&S逯春华制造部蔡新晔工程部王庆工程部郭佳惠三、文件批准和生效：部门批准人员签名日期文件编号版本生效日期COO张帆QW-630061.1四、文件分发：分发部门接收人日期分发部门接收人日期五、文件修订记录：修订日期修订申请人修订人主要修订内容2006-2-16刘逵李焱修改6.3,6.4,6.5,7.3,7.4,7.5.1,7.5.2,7.5.

2、3,以及四张附录。六、机密等级：普通。1.0标题：设备菜单匹配管理规范2.0目的：规定不同设备之间菜单匹配的程序，保证产品质量。1.0范围：适用于生产线上用于相同工艺的不同设备之间的匹配。2.0参考：无。3.0定义：5.1关键工艺：对产品主要特性（PCM结果，成品率和可靠性等）有决定性影响的工艺步骤。5.2非关键工艺：除关键工艺以外的，对产品特性影响较小的工艺步骤。5.3设备匹配：为扩大产能和灵活性，在满足质量要求的情况下，将不同设备或腔体用于同一工艺的加工，工艺菜单内容可根据实际情况作一定限制的修改。4.0责任：6.1设备工程师负责设备硬件条件一致性的匹配调整工作。6.2工艺工程师负责设备

3、的工艺匹配，并达到最终的要求。6.3TD负责对匹配项目完整性的审核，并对PCM的分析结果进行确认。6.4M&S负责联系客户并且反馈成品率情况。6.5QA负责检查匹配工作是否按规定执行。5.0内容：7.1进行设备匹配，必须完成附录中所列的所有相关项目；完成后提交报告，经PCRB审核批准后执行。7.2对型号完全相同的设备之间的菜单匹配，按附表中的要求执行。7.3型号不同的设备之间的菜单匹配，除按附表中的要求执行外，另外与TD和QA部门协商确定是否需要增加新的由PCRB会议讨论决定匹配项目与内容内容，变更等级由PCRB会议统一决定。7.4对已经匹配过的设备中，新菜单匹配按照下述原则进行。1）单项匹

4、配完成。2）非关键工艺不进行分片直接release。3）关键工艺在3批量或小批量（风险批）中选取1批进行分片，通知客户，确定验证项目，如果合格则通过。7.45对于附录中需要顾客反馈成品率的批次(分片)由M&S通知顾客，同意后方可作业，表单见《工艺变更(ProcessChange)管理程序》中的“工艺/材料临时变更客户确认单”。7.56设备匹配中项目需要通知顾客的，由M&S负责通知顾客，顾客确认后方可作业,表单见《工艺变更(ProcessChange)管理程序》中的“工艺/材料永久更改客户通知单”。7.67.5完成匹配的标准：7.5.1单项工艺结果：（下面的σ为reference机台或refe

5、rencelot该项目的标准偏差）7.5.1.1单项工艺结果以下要求：关键工艺：中心值偏差不得超过1σ或reference机台的3%，均匀性满足控制计划要求（均匀性能测试49点的，提供49点的MAP图）；78系列外延按照5%执行。非关键工艺：中心值偏差不得超过reference机台的5%，均匀性满足控制计划要求。7.5.1.2SPC统计后能满足对技术和质量的要求。？7.5.1.3设备间的差异在工艺许可的范围内（由单项工艺工程师进行判断，主管审核）7.5.2PCM结果：所有测试数据必须在PCM规范内，中心值偏差不得超过1.5σ，分布范围不超过原有水平。在签PCRB时，TD提供相关的PCM项目与

6、规范，如无直接相关参数，需得到中测成品率数据，同时通知市场部试验批号、成品率反馈要求等。分片时直接相关参数做trendchart分析，其他参数提供σ分析，分批时对直接相关参数进行trendchart分析。7.5.3分片或分批对比实验结果：所有圆片都要满足PCM和成品率的要求。7.5.4成品率结果：实验片的最低成品率不得低于对照批最低成品率的90%，平均成品率大于对照批平均成品率的95%。7.6当以上所有项目均完成并达到标准，经PCRB审核批准后方可将该设备添加到相关设备组中，应用于生产。8.0附录：8.1附录一：扩散菜单匹配方案8.2附录二：薄膜菜单匹配方案8.3附录三：光刻菜单匹配方案8.

7、4附录四：刻蚀菜单匹配方案9.0有效期：本文件自发布之日起至下次修正日止。10.0机密等级：普通。——END——附录一：扩散菜单匹配方案*对注入工艺的设备匹配，只需E11，E12，E13，E14，E15，E16几种注入剂量各选一个菜单作匹配序号工艺步骤工艺层次是否关键单项试验项目Class分片试验分批试验征求客户同意(分片)通知客户(项目)单独投片片数结果要求PCM成品率1注入剂量等级关均匀性，Rs，带胶注入