电子工业用贵金属粉末与厚膜电子浆料ppt课件.ppt

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1、电子工业 用贵金属粉末xxxx电子材料公司一、基本概念电子(electronic)→低功率、低电流、低电压;电气(electric)→高功率、大电流、高电压。贵金属(noblemetals)→(Au、Ag、Pt、Pd、Rh、Os、Ru、Ir)贱金属(basemetals)铂族金属厚膜混合集成电路(thickfilmHybridcircuits)→印刷烧成薄膜混合集成电路(thinfilmHybridcircuits)→溅射、气相沉积、刻蚀工艺半导体集成电路(monolithic)印刷线路板混合集成电路(PHC)二、材料

2、本征导电性三、一般厚膜生产工艺回路设计图形设计印刷制版电容器印刷烧成导体印刷烧成多层化重复陶瓷基板绝缘体印刷导体印刷(布线、电极)烧成电阻印刷烧成烧成导体印刷烧成多层化重复(多层布线、跨接)包封玻璃印刷烧成调阻元件单体测试组装、检查回路动作测试四、贵金属的特性与电子工业①相对化学性质稳定性②良好的本征导电性③稀少、价格高④催化活性⑤贵金属的物理性质以上①和②是决定贵金属在电子工业中应用的关键因素,当然还考虑其它物理性质以及成本问题。目前以粉末形式作为厚膜电子浆料导电功能相的有:Ag、Au、Pt、Pd、RuO2。元素性质

3、铂Pt钯Pd铱Ir铑Rh锇Os钌Ru金Au银Ag密度20℃g/cm321.4512.0222.6512.4122.6112.4519.3210.49熔点0℃1atm1769155524471963304523101064961热导率w/m·k0℃—100℃>1.1875.36146.54150.72104.92104.67309.82418.68体电阻率ρ0℃×10-6Ω·cm9.359.934.314.338.126.902.031.59五、电子工业用贵金属粉末以及可能的制备方法和分类(一)基本性质1.粒径范围(se

4、m或激光粒径)0.01~20.0μm2.颗粒形态(球形、微晶状、片状、特殊形状)3.组成(单一金属、复合粉、合金粉、梯度粉)4.纯度以及杂质的类别和影响5.分散程度(强絮状聚集粉末、弱絮状聚集粉末、单分散粉末)(二)制备方法1.物理方法:等离子气相冷凝法,雾化法(水雾化、气雾化);2.化学方法:热分解法(贵金属化合物),液相还原法(贵金属盐)3.电化学法:无电解电镀,电解粉。六、贵金属粉末的主要特性参数、测定方法以及与厚膜电子浆料特性的关联贵金属粉末特性测试方法对厚膜电子浆料的影响生成膜特性的影响表征的粉末性质粒径平均

5、粒径粒径分布(μm)激光粒径费歇尔粒径Sem粒径填充特性流变特性初期物理化学特性长期可靠性粒径大小比表面积(m2/g)BET同上同上粒径太小表面状态微孔数量振实密度(g/ml)B527-70AD002同上同上分散性松装密度(g/ml)13329-70AD001同上同上流动性热收缩特性TMA同上同上热作用的收缩特性杂质含量(微量)+CAP,原子吸收光谱,离子色谱同上同上纯度差重110℃/1hr同上同上粉末中水的含量差重500℃/0.5hrInairorH2同上同上有机物氧化物七、液相还原法制备贵金属粉末1.基本途径:2.

6、还原反应的基本原料贵金属盐:AgNO3、PdCl2、PdNO3、H2AuCl4、H2PtCl6、RuCl3以及它们的氧化剂、化合物、配合物。还原剂:无机还原剂的H2SO2、CO、H2S、FeSO4、Na2SO3、N2H4、NaHB、H2O2、Zn、Fe;有机还原剂、醛类、醇类、酸类。反应介质:水、其它。界面活性剂(分散剂):无机类的电解质、稳定介质;有机类的水溶性高分子。贵金属盐溶液还原剂还原反应烘干贵金属还原粉混合固溶分离洗涤八、液相还原制备贵金属粉末的微观过程以银球形粒子生成为例球形粒子生成过程观测系统1.带照明镜

7、头;2.视频信号记录器;3.监视器;4.绝缘处理装置;5.视频信号处理器;6.玻璃槽还原剂加入溶液后的变化球形银粉(15000倍照片)球形银粉(70000倍照片)球形银粒子断面组织透射电镜照片九、银粉照片十、钯粉照片十一、铂粉照片十二、金粉照片十三、合金粉照片Au-Pt粉Pt-Ir粉Ag-Pd粉十四、特殊形状粉照片钯粉铂粉金粉银粉十五、贵金属还原粉的机械处理机械处理方式:球磨分散、表面改性、高剪切分散;机械处理目的:提高分散性,表面光滑化和涂层改性,改变粉末形态,填充特性;贵金属还原粉之特点:絮状聚集,单颗粒细,表面不

8、规则。十六、银粉作厚膜导体浆料导电填料的缺点缺点关联影响改善方式硫化可靠性气氛改变,包封迁移可靠性加Pd抗焊锡浸蚀能力差耐焊性可靠性加Pt或Pd熔点相对低烧结温度>960℃加Pd钯银合金相图十七、在银存在下钯的氧化和还原图1图2图 3十八、液相法制备复合粉、合金粉复合以及合金化粉末目的:低成本化、性能优化。目前已开发的种类:

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