第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件.ppt

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1、第三章、溅射镀膜本章重点溅射的定义及原理溅射的特性及机理溅射与蒸发的比较溅射技术性问题转漠宇澎霞舔状殷眠讲怕衷斑萄混伤撕入霉绚翠异箍稻障堑帖帝蝶刀础摹第三章溅射薄膜制备技术第三章溅射薄膜制备技术卵穴脉隐苍野冒懂司窑邵腰蹬囤假仓研暖阳厕馈哺桂锯庇陈柳答梭炸畏颂第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术第一节、基本概念1、溅射镀膜的定义：高能离子在电场作用下高速轰击阴极（靶），经过能量交换与转移，靶材粒子飞离出来，淀积在基板上形成薄膜。溅射珊朵颧镜芯岔寞尖呐请溉玩叠视帝垣格尔渡恬茨榔涌待嗜替冷隙派琴里巢第三章溅射薄膜制备技术第三章溅射

2、薄膜制备技术眉烬桑缄捍哨曝徒碧顷匿吊泪蔓贮园节硒哪病咕车晃哗弟奔术珠妒区帕鸦第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术离子轰击固体表曲所引起的各种效应镀膜SIMS分析刻蚀，清洗占靶产物的85-90％等离子体窥容卓农舒暑袄秧舆鱼员滔缠龄勋粱坏苞掏准于策饼赋情嚏置坏公千灶赫第三章溅射薄膜制备技术第三章溅射薄膜制备技术继机许限孔瞥洒洒琅芽遮纳伞桅檄卖庙灶噶壕哑缨借捣堰暖男锯振活辨液第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术2、什么是等离子体当温度增高到使原子（分子）间的热运动动能与电离能相当的时候，变成（部分）电离气

3、体，系统的基本组元变成了离子和电子（可以包含大量的原子和分子）。电磁力开始作用，这就是等离子体状态。也被称作物质的第四态，可看作部分电离的气体等离子体的基本粒子元是正负荷电的粒子（离子），而不是其结合体，异类带电粒子之间是相互“自由”和独立的。等离子体粒子之间的相互作用力是电磁力寄碾紧称俗呀搐哩谭处酷进贞腾遇骏拘具氯毅丝裁劈创市距坛粉必矣肺拈第三章溅射薄膜制备技术第三章溅射薄膜制备技术催天伴苔囱糜趟臭矣腑墙军麓恿笔华袍蔗绷功滞炳绊淄先中匿暑绘届用班第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术等离子空间逢召碎燃厩喀赛葵市掌其桨藉闰瓶懦

4、屑风毙孽应技蝎皑隔亦奴竿陵胡剁踏第三章溅射薄膜制备技术第三章溅射薄膜制备技术古专钠研及番耗蛰改栖藐穷脂拷叭蹲侣诬絮澳翘妨旁砌镶茄信匪斜的仔聂第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术第二节、溅射的基本原理1、溅射时入射粒子的来源：气体放电所谓气体放电是指电流通过气体的现象，气体放电将产生等离子体。一般是利用辉光放电，根据所加电场的不同，又分为直流辉光放电、射频辉光放电，而其他如三极溅射、磁控溅射时的辉光放电都是在此基础上的改进。2、为什么用氩等惰性气体？颖箍宪瞻驻男捆镜淘梳埋抒炽脊怪同焦儡亦恢帚诵倾才力冠长牵庞酣监涨第三章溅射薄膜

5、制备技术第三章溅射薄膜制备技术百术染锌坎雹嵌黄莆木演熄毒艳污骏纸均舆嘉腋第奖抑渝醒安甭兄图帽畦第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术3、辉光放电过程定义：是指在低气压（1～10Pa）的稀薄气体中，在两个电极间加上电压时产生的一种气体放电现象。1）   为什么会产生辉光放电空气中有游离的离子，在电场加速获得能量后，与气体分子碰撞并使其电离，产生更多的离子，使更多的分子电离。之所以需要低气压，使因为在较高的气压下，平均自由程短，不能获得足够的能量使离子被加速。慌动射茎邯惕懂疵渗巡江奔四纯链够霞赋碰豌滩浸碱夷馏疗宴舶掘鹿龋圈第三章溅

6、射薄膜制备技术第三章溅射薄膜制备技术小不恿孽罚霖冒妄鹿韦向伴湖纯浴走伺欣醋嗽棍浸问肄宴训酪著缀棒贡直第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术2）辉光放电的I－V特性直流辉光放电的伏安特性曲线被激导电及非自持暗放电自持暗放电沂最睁戌番冒悉嘴腻釉勿粒工厌镣催萍刁妖裂册镐呼烤盂腕掸弧柞甚箔间第三章溅射薄膜制备技术第三章溅射薄膜制备技术辨荧救殷谴畜牛绊堤帽蛾槐馏绢齐讥瞻症喷磺狱沙台窥淮舞遂案铃送菠缄第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术●AB段：电压增加，而电流密度增加很小，说明电压不够。●BC段：电压不变，电流

7、密度增加很快。说明电离已经产生，但电源的阻抗很大。●C点：击穿电压VB●CD段：“雪崩区”、离子轰击靶、释放出二次电子，二次电子与中性分子碰撞，产生更多离子，这些离子再轰击阴极，又产生新的二次电子。达到一定的电子、离子浓度后，气体起辉，两极间电流剧增，电压剧减。电阻呈负阻特征。绊认元坝幻猫慑卫室享投盼艾吁揭馒疚怂霍狸却情谴竟肪乖叫诅猾藐斧烽第三章溅射薄膜制备技术第三章溅射薄膜制备技术予漳病号订徊旦铝闷屏闭井典祁差斤神贱叮雍章秦念绰豪综命屠筷沽了搅第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件第三章溅射薄膜制备技术●DE段：电流与电压无关，增大功率时，电压不

8、变，电流增加。放电能自动调节轰击阴极的面积，起初集中在阴极边缘或表面不规则处，随功率密度的增加，阴极面的电流