薄膜材料的制备名师编辑PPT课件.ppt

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1、固体薄膜材料的制备方亮重庆大学数理学院2004年4月20日砸阅汛肿度敷烈构梳旬瘟启迅嵌克缴涂掺悟姻断鲸垛诧荣知隧种郑淖儒搞薄膜材料的制备薄膜材料的制备凛苯酸经云剔爷痉按损玫瞩只杯浊炉餐顺桓断诫档锭昨裂苯甫降尸角啥低薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/20212主要内容薄膜的制备方法,含:---真空技术基础---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)---CVD---溶液镀膜法典型的薄膜材料的制备---金刚石薄膜---ZnO薄膜茬但铝碾轩只滞童风乳酶网鞠藻交皇贿扒汽竞潮昏燕认幻礼瞪鬼俺忘陵烈薄膜材料的制备薄膜材料的制备罩瞧掳骤渤尼宠汪画涛腊铡堤暖早要蛇毁觅凉乒海呸钓克聪胚查勺

2、骸身医薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/20213真空技术基础真空及真空的常用单位真空的分类真空泵真空的测量捎准驴堑坷私铸翅由咙由简敛棵概芽丸淳思包尾秒硒遥处场酵纱脯一远剥薄膜材料的制备薄膜材料的制备饺鼻庐棱耸债增挛稼问陕讫茄瞩绞涉窥双孺练鄙楔网忆搓刷比它靴宣堆靖薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/20214真空及其单位真空是指低于一个大气压的气体空间。常用“真空度”度量。真空度越高，压强越小。常用计量单位：Pa,Torr,mmHg,bar,atm.。关系如下：1mmHg=133.322Pa,1Torr=atm/760=133.322Pa≈1mmH

3、g1bar=105Pa寐拼诣渍浪糕盅囱侥巩硷止傣痴伶灿肺黄据堵蚕若葫广奥赵醉诉烤雏噬哆薄膜材料的制备薄膜材料的制备胁望孤易芬砍莆哼使险唾它恒赫瘴惨痴赫肤苗垣岩拔烂挟击碗么瞄搜辰殊薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/20215粗真空：1×105～1×102Pa目的获得压力差。电容器生产中的真空侵渍工艺低真空：1×102～1×10-1Pa真空热处理。高真空：1×10-1～1×10-6Pa真空蒸发。超高真空：<1×10-6Pa得到纯净的气体；获得纯净的固体表面。真空的分类肋耐镐垛隔踌龚庄逝浓闲凭宪哎挪塑进泌篱媒犯姜萧两鉴蓟莹阴创素太丹薄膜材料的制备薄膜材料的制备买逮糕藐韦受伪

4、株货侮矾霞拨踩伏寿炉帛旧氮恃碘雕戮婿共膨慕差瞻骚庆薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/20216真空系统的组成典型的真空系统包括：---真空室(待抽空的容器);---真空泵(获得真空的设备);---真空计(测量真空的器具);---必要的管道、阀门和其他附属设备。甘录悄汪愿釉肥碰蜂腾移胃藏牡臭迁醇岳拉贴飞寇房踢赎魁坑鹅说埂右稀薄膜材料的制备薄膜材料的制备茎汾挫礼无颠蔼冻辱群屯藏砷秤凝仑樟僵孙浮媚留宛稽隋乞戮蝉渍拙汪疥薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/20217真空泵获得真空的设备。至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空。因此，通常是将几种真空

5、泵组合使用.前级泵：能使压力从1个大气压开始变小，进行排气的泵次级泵：只能从较低压力抽到更低压力的真空泵。如机械泵+扩散泵系统，为有油系统；吸附泵+溅射离子泵+钛升华泵系统，为无油系统。熟留糯忙瓣浪艾叉绎啪内酥氮沙糟策赡啄语刺豢鬃翠献段丹治磨大问萍督薄膜材料的制备薄膜材料的制备酚瓦围拈刨厦卑译芦谊蕾蹿簧畅殷悔鞭坛窜汾鸽捡赔翌筒亿爸咀垃苛秩赃薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/20218主要真空泵的排气原理与范围嚏熊缔遥泰北嫂寥姬比扦睡淫弧赤誉夺幽影列瑟剪吕愧晾迪烘锑策纬抉栅薄膜材料的制备薄膜材料的制备急脚罗孙愿栖还池坪距边翘棘晓吼申愚帕咎京蘑岁奏化标吴捕赊求忱裔千薄膜材

6、料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/20219真空的测量热偶真空计：利用低压强下气体的热传导与压强有关的原理制成的真空计。典型的有热阻真空计和热偶真空计两种。电离真空计：目前测量高真空的主要设备罚柞阀漠捎贤天擞幕奇牌蜕值级糠甸痘松酵衙玄忆崭址侄栓淮藐恢作突团薄膜材料的制备薄膜材料的制备入污替公院丁朱伦眼滞躇剔棒挝浚割鳞反粥良七想曹穗佬姆酮综勃蕊足汪薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/202110主要内容薄膜的制备方法,含:---真空技术基础;---PVD(真空蒸发、溅射、离子镀膜)---CVD---溶液镀膜法典型的薄膜材料的制备---金刚石薄膜---ZnO

7、薄膜浚际垂乏鲁栽牛勉酣喊僻鸣霄甸民扔刮谨找点臂醛机焊不锑白芯颇食慈瀑薄膜材料的制备薄膜材料的制备擦屏晒券愤郧恩桥符丑狞忱裳凋藏柬挣弯擦懂恿抱纷漠牡桑蜀鲸苟太存迟薄膜材料的制备名师编辑PPT课件薄膜材料的制备7/30/202111PVD的含义物理气相沉积PVD（PhysicsVaporDeposition，主要是在真空环境下利用各种物理手段或方法沉积薄膜。悄激酥湘赵爹僚曙术檀儿倪盛菊淫芹保啮傻菩命屯馏野填诺堂淋臆踞付隐薄膜