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1、特殊气体介绍Pressureunit:（压力单位）psig—表压，psia—绝对压力psia=psig+14.71bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm1atm=14.7psiFlowrateunit:（流量单位）sccm—毫升/分钟slpm—升/分钟1slpm=1000sccmS表示标准状态，即：1大气压，20℃。Weightunit:（重量单位）1Kg=2.2Lbs压力/重量单位SMIC的特殊气体分为四种:惰性气体毒性气体腐蚀性气体可燃性/毒性气体气体的定义在SM
2、IC总共有41种特殊气体:14种惰性气体CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,0.5%O2/He,20%O2/N2,30%O2/He,1.2%Kr/Ne,1.2%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,99.5%He/N26种毒性气体SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,0.7%AsH3/H2，B2H68种腐蚀性气体ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,0.9%F2/1.2%Kr/Ne,0.9%F2/3.5%Ar/Ne10种可燃性/毒性气体NO,SiH2C
3、l2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4Sub-Fab(腐蚀性)—C5F8,BCl3和WF6气体的定义气体房包括CQC(连续质量控制)房,纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房.气体房布置图如附件:气体房布置图特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器—VMB/VMP,然后送到机台端给制程用特使气体供应系统包括3部分:气瓶柜—气体供应的源头,供应稳定压力的气体VMB/VMP—气体分配器,装有阀门来控制每一路
4、气体管道机台—特殊气体的最终用户特使气体供应系统G/C气瓶柜VMB/VMPTools机台1stFloorGasRoom1楼气体房2ndFloorSub-Fab2楼次洁净室3rdFloorCleanRoom3楼洁净室特殊气体供应流程图气体房FAB1特气气瓶柜气瓶柜流程图(AirLiquid)所有气瓶柜在零中断的情况下自动切换,在紧急情况下会自动停止供气.我们也可在必要条件下手动操作气瓶柜.气瓶柜对高压的气体,我们使用压力传感器来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警
5、报.当送气压力达到低设定时,气瓶也会从一侧切到另一侧.气瓶柜对液态的气体,我们用磅秤来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报.当磅秤出现问题时,气瓶也会根据气瓶压力的状况从一侧切到另一侧.气瓶柜FAB2BSGS大宗特殊气体供应包括:CO2,C2F6,N2O,NF3,SiH4Y气瓶供应包括:CO2,C2F6,N2O气瓶组供应包括:NF3,SiH4FAB2大宗特殊气体供应简介大宗特殊气体供应----Y气瓶大宗特殊气体供应----气瓶组在SMIC,共有6种气体需要安装
6、双套管:SiH4,CO,1%PH3/N2,1%PH3/H2,0.7%AsH3/H2,ClF3因此类气体比其它的气体更具危险性,所以我们使用双套管来确保安全.针对ClF3这种特气,因为需要加热,但真空是绝热的,所以我们在内外套管之间通入70psi的PN2来传热.特殊气体–双套管双层管示意图通常,在双套管的中央应保持负压.我们在双套管的中央安装一块压力表,当压力表的压力上升时,说明内管中的真实气体有泄漏.特殊气体–双套管特殊气体供应系统介绍由于WF6和ClF3这二种气体的腐蚀性特强，如果在新的管路中注入纯度很高的这
7、类气体，它们会破坏管路的内表面。所以，我们先用N2和它们进行混合后，再注入管路中，让新的管路适应这类气体后再正式使用，这就是需要做钝化的原因。VMBVMB真实气体在排放到中央排气系统之前,需要进废气处理装置进行处理.在SMIC气体房,我们使用吸收式废气处理装置来处理废气.废气处理装置
