扩散常见问题及解决方法.doc

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1、受控状态编制审核批准生效日期版本号修订号文件编号发放号2010-08-11B1JN/JL30301-4-2010扩散常见问题及解决办法1.做气密性测试时，气密性总是达不到要求？石英门没有装好,或者尾气回收瓶漏气，检查尾气瓶是否接触紧密，校正石英门位置。2.扩散万级间温度很高？空调温度设定值高、冷却水没有开、热排没有开、石英管隔热套安装不严。3.POCL3恒温箱突然断电？检查线路、更换新的恒温箱。4.R2D上下料时出现碎片问题？根据报警信息查找出问题的部位，然后调节（手柄）至合适的位置并保存、home复位、查看

2、是否有碎片、关闭软件并重启、关闭电源并重新启动操作软件。5.扩散过程中出现撞舟问题？调节lift放在碳化硅桨上的位置、调节传动的路线、调节石英管在扩散炉炉体中的位置。6.扩散后方块电阻高？增加通源时间、增加POCL3的量、增加温度、实际温度达不到需要校温。7.扩散后硅片表面发蓝或有烧焦？发蓝时因为硅片表面有水：增加制绒的风刀温度、降低制绒滚轮的速度、降低扩散千级间的空气湿度、减少制绒后硅片在扩散千级间的存放时间。8.进出舟时出现报警而使工艺跳步？根据报警信息看什么原因造成的，根据实际情况选择继续运行工艺或者用

3、取舟程序把石英舟从管里取出来。9.如果R2D在运行过程中出现连接超时（LPouttrucktimeout）怎么办？检查传感器是否正常工作，重新调整一下位置。10.R2D运行时，位置走不到位或者软件运行十分缓慢？在R2D不工作时，把软件进行重启，然后复位就行了。11.工艺运行过程中，如果氮气补偿过小？调节尾瓶处的开关，使之达到工艺要求。12.桨中途停止怎么办？查看报警信息，如果是在出料时不动，桨停留在20位置上，查看舟的位置是否正确，然后点Start，重新开始。如在其他位置不动，查看传动装置是否松动，电机是否工

4、作。13.门关不严怎么办？检查门是否被挡板档住，检查电机是否完好，sensor是否松动，重新做校准。14.LOADER、DOOR位置不准确怎么办？重新做calibration,做完以后选自动进出舟工艺自动运行几次。