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时间:2020-09-03
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1、受控状态编制审核批准生效日期版本号修订号文件编号发放号2010-08-11B1JN/JL30301-4-2010扩散常见问题及解决办法1.做气密性测试时,气密性总是达不到要求?石英门没有装好,或者尾气回收瓶漏气,检查尾气瓶是否接触紧密,校正石英门位置。2.扩散万级间温度很高?空调温度设定值高、冷却水没有开、热排没有开、石英管隔热套安装不严。3.POCL3恒温箱突然断电?检查线路、更换新的恒温箱。4.R2D上下料时出现碎片问题?根据报警信息查找出问题的部位,然后调节(手柄)至合适的位置并保存、home复位、查看
2、是否有碎片、关闭软件并重启、关闭电源并重新启动操作软件。5.扩散过程中出现撞舟问题?调节lift放在碳化硅桨上的位置、调节传动的路线、调节石英管在扩散炉炉体中的位置。6.扩散后方块电阻高?增加通源时间、增加POCL3的量、增加温度、实际温度达不到需要校温。7.扩散后硅片表面发蓝或有烧焦?发蓝时因为硅片表面有水:增加制绒的风刀温度、降低制绒滚轮的速度、降低扩散千级间的空气湿度、减少制绒后硅片在扩散千级间的存放时间。8.进出舟时出现报警而使工艺跳步?根据报警信息看什么原因造成的,根据实际情况选择继续运行工艺或者用
3、取舟程序把石英舟从管里取出来。9.如果R2D在运行过程中出现连接超时(LPouttrucktimeout)怎么办?检查传感器是否正常工作,重新调整一下位置。10.R2D运行时,位置走不到位或者软件运行十分缓慢?在R2D不工作时,把软件进行重启,然后复位就行了。11.工艺运行过程中,如果氮气补偿过小?调节尾瓶处的开关,使之达到工艺要求。12.桨中途停止怎么办?查看报警信息,如果是在出料时不动,桨停留在20位置上,查看舟的位置是否正确,然后点Start,重新开始。如在其他位置不动,查看传动装置是否松动,电机是否工
4、作。13.门关不严怎么办?检查门是否被挡板档住,检查电机是否完好,sensor是否松动,重新做校准。14.LOADER、DOOR位置不准确怎么办?重新做calibration,做完以后选自动进出舟工艺自动运行几次。
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