微蚀液操作指引.doc

《微蚀液操作指引.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、微蚀缸开缸、化验与添加方法控制参数范围日常维护与添加1．此缸体积300升.2．开缸比例为25%3．先加入适量的水,接着加入75升微蚀剂YM-YT602，再加5L硫酸,然后加水稀释至刻度。微蚀量0.8-2μm（1.5μm）每班分析H2SO4、H2O2、Cu2+及微蚀深度1.微蚀深度一般控制0.8-2微米,,其随H2O2浓度,微蚀缸的温度升高而加深.2.控制应将H2SO4的含量在40-100g/L，浓度太低时请用工业硫酸进行添加50%H2SO4添加量(KG)=(目标值-实测值)*V（缸体积）*210003.H2O2(50%)应控制在20g/L至4

2、0g/L的范围,以30g/L最宜.偏低时请用微蚀剂YM-YT602直接补加.不可直接添加H2O2.YM-YT602的添加量(L)=(目标值-实测值)*V（缸体积）1304.Cu2+控制在40g/L以下,浓度太高请放掉部分槽液或重新开缸.5.每公斤微蚀剂原液中含有硫酸160g/L，双氧水130g/L6.每处理1000ft2双面板补加YM-YT602药水约7公斤7.硫酸和微蚀添加剂为开缸时侯使用,日常很少补加.[Cu]＜40g/L（＜25）H2SO440-100g/L（g/L）H2O2（50%）20g/L至40g/L温度（℃）25-35（30）时

3、间（秒）20-40（30）化验方法一、分析控制方法:A.双氧水含量的分析控制1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2.加入50毫升去离子水3.加入5毫升50%的硫酸溶液4.摇匀后用0.1N的高锰酸钾标准溶液滴定至粉红色高锰酸钾数秒不退色为终点，记录高锰酸钾的消耗量.5.计算:（mlKMnO4滴定量）×（NKMnO4）×34.02=g/LH2O2(50%)B.H2SO4含量的分析控制1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2.加入50毫升去离子水3.加入少量甲基橙指示剂4.用0.5N的NaOH滴定至黄色终点记录滴定量5.计算：（mlNaOH滴

4、定量）×（NNaOH）×49=g/L（H2SO4100%）C.铜离子含量分析控制1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2.加入50毫升去离子水3.加入少量NH3.H2O使溶液颜色变成蓝色纯清4.加入少量PAN指示剂5.用0.05NEDTA.2Na标准溶液滴定至浅黄绿色终点，记录下消耗量6.计算：（mlEDTA.2Na滴定量）×（NEDTA.2Na）×63.54=g/LCu27.调整：如铜离子含量高于30g/L，抽出1/3~1/2旧工作液，然后补加等量新原液微蚀量控制：1、准确的切割一片无孔的裸铜板，约3”×3”或4”×4”，量出准确尺寸2、

5、酸洗铜板以去除氧化膜，用水冲洗，在120°F烘炉内烘干及在干燥瓶内冷却3、称取铜板的重量（×）（准确度小数点、后4位）4、把铜板按正常生产程序放入生产线5、在微蚀工序后出6、把铜板放在120°F的烘炉烘干数分钟，在干燥瓶内冷却，再称重（Y）7、计算：要求：1.微蚀速度控制在40—80比较合适（40微英寸相当于1微米）2.1平米英寸=6.4516平方厘米,1平方厘米=0.155平方英寸