pecvd氮化硅膜的改进项目的可行性报告

《pecvd氮化硅膜的改进项目的可行性报告》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、PECVD氮化硅膜的改进项目的可行性报告一、立项的背景和意义随着传统能源的日益枯竭和石油价格的不断上升，以及人们对自身生存环境要求的不断提高，作为无污染的清洁能源，太阳能电池必将会得到更加迅猛的发展，从效率和材料来源及稳定性考虑，太阳能电池今后发展重点仍然是硅晶太阳能电池。现金占据太阳能电池绝大部分市场的晶硅太阳能电池，其制备技术一直代表着整个太阳能电池工业的制备技术水平。晶硅太阳能电池目前研究的主要任务是在提高效率同时如何进一步降低成本。由于原材料成本的原因，其主要研究方向为高效率方向为高效率、大尺寸、轻薄化方向发

2、展。随着太阳能电池市场的发展，晶硅高效电池将占据主导地位，在生产和应用总量中占首位，世界上主要光伏企业SHARP、BPSOLAR、Q-CELL等均投入资金到提高转换效率、降低成本的研究开发中，国内的茂迪、无锡尚德、中电等均在背电极接触、SE电池、刻槽埋栅技术等各领域展开研究和产业化。晶硅电池在过去几年里有了很大的发展，许多新技术的采用和引入使太阳能电池效率有了很大的提高。在早期的硅电池研究中。人们探索各种各样的电池结构和技术来改进电池性能，如背表面场、绒面、Ti/Pdj金属化电极和PECVD氮化硅膜等。高效电池是在这

3、些实验和理论基础上的发展起来的。经测定，晶硅太阳能电池的理论效率约为29%，单晶硅实验室效率最高记录为24.7%，单晶硅市场化平均效率由15%逐步增加至现阶段的超过18%。利用纯化、倒金字塔表面结构化、分区掺杂、刻槽埋栅电极和双层减反射膜等技术工艺的优化，是国内外研究单位及企业现阶段硅晶电池提高效率采用的主要方法和新趋势。日本Sanyo公司研制采用PECVD工艺在N型单晶硅片上下面沉积非晶硅层，构成异质结电池，大面积效率达到21%，北京太阳能研究所开展的高效电池研究，电池前面有倒金字塔织构化结构，2cm×2cm电池效

4、率达到19.8%。大面（5cm×5cm）激光刻槽埋栅电池效率达到了18.6%。国内某厂研制的SE电池效率超过18%。世界常规能源供应短缺危机日益严重，仅以石油为例，至2009年底全球已证实的储量可供开采时间仅为45.7年。同时，化石能源的大量开发利用已成为造成自然环境污染和人类生存环境恶化的主要原因之一。在日本核事故之后，美、德、英、俄等国纷纷关闭本国老旧核电站，调整核电发展政策。寻找新兴能源、发展社会经济已成为世界热点问题。在各种新能源中，太阳能光伏发电具有无污染、可持续、总量大、分布广、利用形式多样等优点，已成为

5、世界各国普遍关注和重点发展的新兴产业。在我国能源中长期发展战略和规划中明确提出，到2020年可再生能源在能源构成的比例中要达到10％左右。专家预测，在以后的50年里，可再生能源在整个能源构成中会占到50％，其中太阳能将会占到14%以上。晶硅电池具有转换效率高、性能稳定、生产工艺成熟，成本合理等特点，是所有太阳能电池种类中的最重要成员，一直占据了光伏市场85%以上的份额，预计在今后较长时间内依然占主导地位。目前，在大规模的产业应用中，常规(标准丝网印刷)单晶硅电池的效率为17～18.4％，多晶硅电池的效率为15.5～1

6、7％，这一电池转换效率与理论转换效率相差很远。此外，由于受欧债危机和美国双反政策的影响，以及产能过剩引发行业的无序竞争，导致太阳能电池片和电池组件的急剧下降，企业利润空间严重压缩。提高转换效率、降低制造成本一直是国内外晶体硅太阳能电池研究与开发的紧迫任务。我公司自投产以来，公司领导历来重视研发与创新，支持围绕转换效率、优质品率等主要核心技术指标进行研发，在硅片质量不稳定的情况下，通过技术革新和工艺控制逐步提高两项指标，转换率的高低主要依靠PECVD氮化硅膜的改进来实现的。二、国内外研究现状和发展趋势晶硅电池在过去几年

7、里有了很大发展，许多新技术的采用和引入使太阳能电池效率有了很大提高。在早期的硅电池研究中，人们探索各种各样的电池结构和技术来改进电池性能，如背表面场，浅结，绒面，氧化膜钝化，Ti／Pd金属化电极和减反射膜等。高效电池是在这些实验和理论基础上的发展起来的。经测定，晶硅太阳能电池的理论效率约29%，单晶硅实验室效率最高记录为24.7%,单晶硅市场化平均效率由15%逐步增加至现阶段的超过18%。利用钝化、倒金字塔表面织构化、分区掺杂、刻槽埋栅电极和双层减反射膜等技术工艺并优化工艺，是国内外研究单位及企业现阶段晶硅电池提高效

8、率采用的主要方法和新的趋势。BPsolar的埋栅刻槽技术，使转换效率突破18%，日本Sanyo公司研制采用PECVD工艺在n型单晶硅片上下面沉积非晶硅层，构成异质结电池，大面积效率达到21%。北京市太阳能研究所“九五”期间在北京市政府支持下开展了高效电池研究，电池前面有倒金字塔织构化结构，2cm×2cm电池效率达到了19．8％，大面（5cm×5