Channel5-Fast数据采集简要流程.docx

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1、Channel5数据采集简要流程（Fast）（注：本流程是Fast的基本操作过程，详细参数设置请参阅相关说明书）一．数据采集前的准备1．插入HASP（狗）2．获得SE像（1）将样品装夹后，放入SEM样品室，达到真空度（高真空或所设定的低真空范围）；（2）设置SEM成像参数：HV＝20-30kV、Spot：6-7(FEIQuanta200）（Fast采集数据需要的信号一般比较强）、TiltCorrection：70°、WD＝13-26mm等。（工作距离越小越好，但不能太小，防止样品台撞到探头，样品

2、及样品台的最高位置，不能超过10mm位置线。样品尺寸不要超过30mm）（3）选择EBSD测试的样品扫描区域，使样品分析区域处于电子束光轴下方。(视野看到样品，保证样品位于电子束光轴之下，防止探头被撞。)4．EBSD探头进入（1）打开EBSD控制器（ControlBox）。（2）解锁控制手柄：按下手柄上的“Stop”键（3）进入EBSD探头：长按控制手柄上的“IN”键3sec，EBSD探头自动伸入样品室内；当探头进入到DD＝110mm时，自动停止。继续长按3sec“IN”键，使探头继续进入，直到在

3、工程师校准数据文件规定的位置上自动停止，也可点击“In”键，使EBSD探头以0.1mm的步进逐点进入。[注意1]：工程师已设定的DD＝166.6mm。（康伟说已校正为167.6mm）[注意2]：应用EBSD原位拉伸台时，选DD=157.9mm。9[注意3]：进入EBSD探头时，应打开SEM的CCD，实施监测探头位置。4．进入“HklFastAcquasition”软件（快速标定：300个点）双击“HklFastAcquisition”，进入Pattern采集软件选择“onlineacquisit

4、ion”，选择onlineacquisition选项，点击“OK”。Simulation选项只用作脱机处理或演示。如下图所示：二．Pattern标定参数的设置1.扣除背底（低倍快扫），进入EBSP模块：（1）点击“ViewEBSPlive,unprocessed”.采集背底。（2）选择采集Pattern的参数：－“Binning”：常选择2×2或4×4－“Gain”：常选择high（增益，是把噪音和信号同时增大,一般选4-5）－“Integration”（相当于exposure，一般选4-5，太

5、大影响速度）：先调节binning和gain到合适数值，然后被动选择“Integration”，一般不大于10，如果调到10仍然背景不明显，需要调大SEM入射电子束流（Spot：增加到6或7），得到合适亮度的背底，即出现光晕，而不出现Pattern。－“BackgroundFrame”：一般选32。－“FrameAverage”一般选择3。数值越大，扫描速度会明显的降低。9－“UseDynamicStretch”可选。运用动态扣背底，速度会有降低。－自动扣除背底采用低放大倍数（保证样品充满视野）

6、和快速扫描模式。－“Houghresolution”一般选择50-60，“Bands”金属一般选择4-6。－Backgroundcorrection保持不变。（3）点击“collectstaticbackground”图标，完成背底扣除。选择Usedynamicstretch，即扣除动态背底（每个点的补偿值），如图所示：1.校准数据进入“EBSP®EBSPanalysissetting®loadcalfile”模块，选择接近校正过的参数。单价硅标样的校正参数保存在C:CHANNEL5Cali

7、brationloadcalibration中。可将其它样品的校正参数保存在C:CHANNEL5Calibrationsavecalibration中。91.选择标定物相进入“phase”模块，进入“phase®addphase®选择所要标定的物相®select”2.采集电子图像（SE像或BSE像）（1）将SEM切换到合适的放大倍数，注意：此时不应再改变样品台的位置。（2）在“SEM”模块。（高倍慢扫）点击“startfullvision”中，采集一幅SE图像，做为EBSD点扫描或面扫描

8、定位用。可采集两种图像，SE模式或者BSE模式。（3）点击“sem/stageparameters®read”，电子图像的放大倍数和标尺将显示在图像中。（4）BSE像的调整（a）先调整好SE像。9（b）主放大器“BACKSCATTER”的参数设置：－打开“BACKSCATTER”后面板上的主放开关－选择主放大器的“Mode”为“RECOED”－选择主放大器的“Gain”为“2”或“3”－选择主放大器的亮度和对比度：Contrast（对比度）置中（一圈满量程）；Brightness亮度中间偏小（1