贵金属钌粉制备技术及应用研究进展.pdf

《贵金属钌粉制备技术及应用研究进展.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、船电技术l综述贵金属钌粉制备技术及应用研究进展张宏亮李继亮李代颖(中国船舶重工集团公司第七一二研究所，武汉430064)摘要：钌粉是制备钌靶材、高纯钌化合物等材料的关键原材料之一。随着电子元器件的发展，对钉粉的需求量越来越大。在对贵金属粉末产业的评价中，往往会忽略钌粉末。本文综述了当前钌粉应用研究的进展状况及钌粉制备技术的现状，尤其是突出了日本在制备高纯钌粉方面的技术状况。关键词：钌粉制备技术应用研究中图分类号：TQ460．3文献标识码：A文章编号：1003．4862(2012)08．0054．03ThePreparat

2、ionandApplicationofRutheniumPowderZhangHongliang，LiJiliang，LiDaiying(WuhanInstituteofMarineElectricPropulsion，CSIC，Wuhan430064，China)Abstract：Rutheniumpowderisoneofkeymaterialsfo，．preparationofhigh-purityrutheniumcompoundsandsputteringtargets．thedevelopmentofelec

3、tronicelements．thedemandfo，rutheniumpowderisincreasing．Intheevaluationofpreciousmetalpowderindustrytherutheniumpowdertendstobeignored．Thispaperreviewsthecurrentapplicationofrutheniumpowderandtheprogressofthestate—of-artofrutheniumpowderpreparation，inparticular,hi

4、ghlightingJapan'stechnicalconditionofhighpurityrutheniumpowder．Keywords：rutheniumpowder,"preparationtechnology；applicationresearch0引言1钌粉的主要应用钌是铂族金属中性质非常特殊的元素，具有虽然钌粉目前的应用范围与银粉、金粉等其熔点高、硬度大、不易机械加工等特点。钌粉的他贵金属粉末相比没那么广泛，但其在集成电路、制备是从20世纪40年代在欧洲开始的。l959年有机合成反应及钌系厚膜电阻浆料等方

5、面的特殊意大利学者Rhys在其发表的一篇论文【l】中首次作用是不可替代的。钌粉在集成电路中主要用于介绍了钌粉制备技术及钌粉性质的基础研究状形成溅射薄膜而作为电容器电极膜。而在钌系厚况，对钌粉制备技术的发展具有重要作用。经过膜电阻浆料中导电相为RuO2、钉酸盐等，钉粉末几十年的发展，钌粉末的生产与应用都有了很大只是作为添加剂应用于其中。因钌粉在催化许多的进展，至2005年钌粉末仅在电阻器方面的用量有机合成反应方面表现出来的高效选择性及催化就达到了8吨J。现在，钌粉末为适应电子元器活性，对钌催化剂的研究是当前催化领域的研究件

6、(尤其是钌靶材)对钉粉末性能的高要求，生热点之一。产方法在近10年内有了较大改进。本文将重点评当前钌粉末的最大用途之一是生产钌靶材，述钌粉末的制备技术及应用研究。并以钌靶材作为计算机硬盘记忆材料。另外，钌靶材作为电容器电极膜也大量应用在集成电路产业中。贵金属靶材产业是Heraeus公司、昭荣、助友和贵研铂业股份公司等国内外公司正在大力收稿日期：2Ol1—11．16发展的产业。集成电路用靶材在全球靶材市场占作者简介：张宏亮(1977．)，男，工程师。研究方向：较大份额，钌靶材因用量大，附加值高而引起极贵金属材料。54船电技

7、术f综述但操作复杂，而且(NH4)3RuCI6水溶性很大，伴随着贵金属靶材产业的进一步发展，对高纯钌沉淀不完全，钌的收率不高。Yuichiro等]采用粉的需求必将加大。因此，对批量化生产高纯钌市场上可购买到的较粗糙的钌粉(杂质金属含量粉方法的研究，必须引起国内相关科技工作者的较多)为原料，在使用次氯酸溶解粗钌粉时通入足够重视。另外，增强对钌粉应用的研究及钌粉含O3的气体，使绝大部分粗钌粉转变为RuO4。回收技术的研究同样意义重大。再用盐酸吸收RuO4，干燥得到RuOC13晶体，经参考文献：煅烧，热还原得到纯度高达99．9

8、99％的钌粉，符合溅射靶材的要求。其热还原温度为⋯RhysDWThefabricationandpropertiesofruthenium．300℃～1200℃，可通过调节热还原温度得到粒径JLessCommonMet1959，1：269—91．不同的钌粉。2009年，Hisano等[9】使用电化学的[2】ScanF