基于图像传感器的微纳米定位方法研究.pdf

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1、分类号：!￡堕!：!UDC：密级编号基于图像传感器的微纳米定位方法研究STUDY0NMICRO—NANOLOCALIZATIoN脏THODSBAS即ONIMAGESENSOR学位授予单位驶代码：丝登型王丕堂I!Q!鳗2学科专业名称及代码：槿嚣监i剧生型鳇丞箕(塑!!业2研究方向：堪式迟剖．生国堡丝堡申请学位级别：亟±指导教师：塑虫越攫研究生：蝗垦臧论文起止时间：垫Q!：!!=婴!Q：12长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位沦文．《基于图像传感器的微纳米定位方法研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作

2、所取得的成果。除文中已经注明引用桷内容外．本论文不包台任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本盘的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名衄L哇月望月长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用舰定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数掘库和cNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电予版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本

3、学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索。也可采用影印．缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位硷文。作者签名蛳导师弛翌啦fQ!揖三月■R幽吐目a摘要四光束激光干涉研究是激光干涉应用研究的新*领域，浚研究受到世界各国的广泛关注。而基于这一研究领域的微纳米定位方法研究也逐渐成为了该领域的一个重要分支。论文通过构建四光柬激光干涉系统．对采集干涉图案过程中的干扰困索进行了分析及噪声处理。对于滤波后的干涉图案的定位处理是本文的研究重点，论文从边缘检测理论着手引出亚像素边缘检测算法．分析了基于矩保持的、插值的以及曲线拟台的亚像素边缘检测算子．给

4、出了三种算法对四光束激光干涉图案的处理结果；然后．通过Mauab软件仿真进行了图像处理，验证了最小二乘圜拟合定位算法的可实现性；壤后，通过对实际干涉图案的定位给出了该算法的精度及误差，证明了该方法可以用于四光束激光干涉图案的微纳米定位。关键词：纳米定位四光束干涉亚像素图像处理ABSTRACTFour-beamlaserinterferencelithography(FBLIL)isthenewestdomaininthelaserinterferenceappliedresearchTheresearchhasattractedwor

5、ldwideattentionfhemicro—nanolocalizationmethodsresearchstudyhasgraduallybecomeanimportantbranchofthefieldInthispaper．byconstructingthefour-hennainterferencesystem1analysistheinterferencefactorsintheprocessofcollectingtheinterferencepatternandgivethenoiseprocessingThefoc

6、usofthispaperisthelocalizationoftheinterferencepatternThepaperstartstheresearchfromedgedetection，anddiscussesthesub-pixeledgedetectionalgorithmTherealethreealgorithmstoprocesstheinterferencepatternsThoseatebasedonthemoment-preservingoperator．theinterpolationoperatorandt

7、hechivefittingoperatorlAlsogivetheresaltstothesethreeoperatorsThenJusetheMatlabtosimulatetheimageprocessing．andverifytheleastsquarescirclelocalizationmethodcanberealizedAtlasL1givetheaccuracyanderrorofthelocalizationoftheactualinterferencepatternTheresultsshowthatthemet

8、hodca／tbeusedforfouPbeamlaserinterferencepatternofthemicro．nanolocalizationKeywords：micro-nanolocalizafionFBLI