生产超净高纯过氧化氢的净化技术进展.pdf

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1、环境保护生产超净高纯过氧化氢的净化技术进展向航贵州大学化学与化工学院贵州贵阳550025摘要：简要介绍了工业级过氧化氢的制备方法及杂质来源，罗斯以及独联体地区试剂。近年来，这些标准正逐步接近并往并列出了超净高纯过氧化氢的质量标准，综述了高纯过氧化氢的SEMI标准靠拢。国内外净化技术进展，包括精馏、吸附技术、离子交换树脂、溶液表1国内外超纯过氧化氢的分级、称谓及对应适用范围萃取、结晶、膜分离技术以及这些技术的组合净化技术，指出净化NARST适用范CationSEMISolvay国内技术的发展趋势。C围sp

2、ec.关键词：高纯过氧化氢；杂质；净化技术常规电子Stabilize引言N/AN/AStandardEG<200ppb级d我国在微电子行业上的进步对经济发展起到了很大的推动作用，并且逐渐成为支柱性的产业之一。为满足微电子技术发展精细电子SEMI-C7Grade2UltrapureULSI<10ppb的需要，对与之配套的超净高纯试剂的要求也越来越高。超净高级纯试剂(国际上称为ProcessChemicals)作为制作超大规模集成电路的材料之一，同时也是最为重要的基础性化学材料，主要用于Ultrahigh清

3、洗、光刻和蚀刻芯片，其纯度和清洁度对集成电路有着重要的SEMI-C8Grade3超高纯级SLSI<1ppbpure影响，尤其在可靠性、成品率以及电性能等方面[1]。过氧化氢是一个经典化工产品，具有非常广泛的用途，因为超净高纯在对其进行使用的过程中没有污染物的产生，而且可以对其进行SEMI-C12Grade4PicopureTMSSLSI<0.1ppb级直接应用，主要用于工业“三废”的处理过程中[2]。根据不同的杂质含量，通常情况下可以将其分成以下几个等级，分别是电子级、ULSI:Electronicsu

4、ltra-large-scaleintegration;SLSI:Electronics食品级以及工业级等。其中电子级的过氧化氢是属于比较高纯super-large-scaleintegration;N/A=notapplicable.的化学品，同时在电子工业中也是常用的电子化学品，主要有以二、超净高纯过氧化氢纯化技术下四个方面的用途：①用作清洗剂以清洗硅晶片、集成电路等；②我国对工业级过氧化氢的生产已趋于娴熟，通常有以下几种将其配置成腐蚀液，然后用来对印刷线路板上的金属表面进行腐方法，分别是氧阴极还原

5、法、电解法、异丙醇氧化法及蒽醌法等。蚀，尤其是铜表面；③用作制取电子级高纯试剂的原料；④参与合目前，电解法、氧阴极还原法、异丙醇氧化法等方法因为在市场上成光刻胶去膜剂[3]；食品级的过氧化氢主要是对食物进行漂白和缺少竞争力，已经很难见到这些方法的应用。消毒；工业级的双氧水，主要是用作脱氧剂、消毒剂、漂白剂和氧工业级的过氧化氢必须继续经过净化处理才可满足其在医化剂，比如将棉花和纸浆漂白，高分子和有机物质的合成，有毒废药、航空航天、电子等领域的不同要求，其中的关键技术在于除去弃物等的处理。工业级过氧化氢中的

6、金属、有机物和非金属离子等杂质，自上个电子级过氧化氢可通过对集成电路的绝缘层进行清洗和蚀世纪五十年代，许多净化和分离的方法已经被开发并逐步发展，刻，以使其可以达到最好的状态，而广泛应用于电子工业领域。大致有以下几种：膜分离、离子交换、精馏、结晶、萃取和吸附等多根据不同的应用范围，可以将电子级的过氧化氢溶液分为常规电种方法的组合等[8-11]。子级、精细电子级、超高纯级和超净高纯级[4]。1.精馏法[5-7]一、超净高纯过氧化氢质量标准通常在对过氧化氢进行浓缩的时候会使用精馏的方法，利用就现在的情况来看，

7、还没有发现国内外在超高纯过氧化氢的这种方法可以在过氧化氢和水分子分离气化的过程中实现对杂确切的分类上有其统一的规则，因为不同厂家生产的超高纯过氧质的去除，主要是由于有机物的沸点比较高，因此有机物会被留化氢分别有各自的质量标准。表1是SEMI、NARSTC(NorthAmer⁃在浓缩的母液中，从而实现对过氧化氢的杂质去除。然而，气液icanRegionalStandardsCommittee)、Solvay(SolvayInterox,Inc.)的几分离器不能够将气液完全分离，杂质也会被引进分馏柱，这样就

8、种比较特别的标准，以及国内的分类情况。[12]雾状的液体随着过氧化氢蒸汽蒸发，同时其他的一般金属可能而超净高纯试剂主要分为四类标准：①根据德国默克作为主会出现金属氧化现象，因此利用这种方法也不能将过氧化氢的纯要基础制成的欧洲试剂；②由国际半导体设备和材料协会标准作度达到很高，但是可以将其用作前期净化方法。为基础，从而制作而成的而美国试剂；③根据和光、关东作为基础2.吸附法代表制成的日本试剂；④还有根据IREA作为基础代表制成的俄吸附法的作用