刻蚀试卷(工艺质量设备安全).doc

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1、工号：姓名：工序：刻蚀工序考题一、填空题：1.刻蚀设备整个系统主要由＿＿、＿＿、＿＿和＿＿四块组成。2.RENA刻蚀清洗机共有＿个槽，分别是：＿＿＿＿＿＿。3.RENA刻蚀清洗机共有＿个滤清器，其中＿＿槽没有滤清器。4.刻蚀设备开机前首先要打开＿＿＿。5.刻蚀设备开机流程为：＿＿＿＿＿＿。6.制冷机里面所加的溶液为＿＿和＿＿，比例为＿＿。7.刻蚀车间常见的危险化学品有＿＿、＿＿、＿＿、＿＿等。8.刻蚀工序的目的是和。9.刻蚀的工艺步骤：上片碱洗清洗清洗10.对于单面扩散的硅片，在刻蚀机上放硅片时，硅片的扩散面必须11．刻边后硅片各边的绝缘电阻为12.刻

2、蚀工序的质量控制点为、、、13.多晶156的硅片减薄量控制要求为。14.刻蚀槽的主要影响因素为、、。二、简答题：1.简述生产操作人员在设备人员不在场时发生设备故障如何处理？1.RENA刻蚀设备与RENA制绒设备的区别2.刻蚀工艺中皮肤接触到酸或误食后的紧急处理方法3.RENA设备刻蚀槽中所用的化学品是什么，分别有什么作用？4.检验PSG是否去除干净的方法5.异常分析：造成PECVD后有水痕的主要原因有哪些，应怎么处理？