精密计量与测试技术ppt制作课件.pptx

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1、表面粗糙度测量新技术Ppt讲解：Ppt制作：资料：论文：点击添加文本点击添加文本点击添加文本点击添加文本目录三、激光散斑法测量二、外差干涉式轮廓测量一、光学探针法测量一．光学探针法有许多被测件的表面，如光盘、半导体工艺、化学样品等是不允许触针划伤的，另外有一些质地较软的表面，也不可用触针式电动轮廓仪测量。因此，非接触式表面轮廓探测技术受到重视，并得到发展。一．光学探针法光学探针：是采用透镜聚焦的微小光点取代金钢石针尖，表面轮廓高度的变化通过检测焦点误差来实现。目前采用的有：◆激光三角法探针◆光学临界角法探针◆像散法探针等1-1三角法探针原理图1

2、．激光三角法探针探测器Ｄ是位置敏感探测器（PSD）或电荷耦合器件（CCD），他的输出电压与光斑在探测器上的位置成比例。SS’1-21-3I01-4三角法粗糙度探头光学原理图图（1-4）为采用三角法探针原理的粗糙度探头。位置探测器的输出电流随光点位置的不同而连续变化。这种系统不仅能测量表面突起，还能测量表面的倾斜（一维）。传感器可达1um的测量精度；测量范围可达毫米量级。2-12．临界角法探针问：在A、B、C三位置投射到光电探测器上的光斑情况如何？是根据光的全反射原理做成的探针。2-2临界角法探针实际系统图探头垂直方向的分辨率1nm，该类型的传感

3、器可用于工艺过程监测、机床上的在线测量。采用两路接收的目的是什么？运算的两个目的:◆避免物镜倾斜对测量结果的影响；◆用总光强进行规一化处理，可消除光源的波动，也可消除物面反射率不同带来的影响。像散如果光学系统只存在像散，则子午光束和弧矢光束均分别交于主光线上的同一点。两交点的位置不重合，光束结构如图所示。整个光束形成两条焦线，分别称为“子午焦线”和“弧矢焦线”。当像平面在子午焦线位置时，得到一条水平焦线，在弧矢焦线位置时，得到一条垂直焦线。在两焦线中间得到的弥散图形如下右图所示。３．像散法探针3-1像散法的测量原理二.外差干涉式轮廓测量xhfo

4、f2fo-f2f1fo-f1E1+E2E'1+E'2该系统在垂直方向分辨率优于1nm。三.激光光斑法◆如图所示，由激光照射所得的图谱，随工件表面的光洁度的增高，其反射光斑的光强也愈强，而散射光带的光强则愈弱。对于不同的工件表面，其反射特性虽有区别，但同一散射角内的总能量不变。平滑粗糙点击添加文本点击添加文本点击添加文本点击添加文本谢谢！