西安交通大学 微电子制造技术 第二十章 装配与封装课件.ppt

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1、半导体制造技术第20章封装与装配目标1.描述装配和封装的总趋势与设计约束条件；2.说明并讨论传统装配方法；3.了解不同的传统封装的选择；4.了解7种先进装配和封装技术的优势与限制。概述在芯片制造工艺完成后，通过电测试的芯片将进行单个芯片的装配和封装，通常被称为集成电路制造过程的后道工序。装配和封装在集成电路后道工序是两个截然不同过程，每个都有它特殊的工艺和工具。装配是指从硅片上分离出合格芯片，然后将其粘贴在金属引线框架或管壳上，再用细线将芯片表面的金属压点和提供芯片电通路的引线框架内端互连起来。装配完成后，再将装配好芯片封装

2、在一个保护管壳内。最常用的封装是用塑料包封芯片，这种塑料包封提供芯片保护并形成更高级装配连接的管脚（列如，固定到电路板上）。传统的最终装配和封装工艺的慨况如图20.1所示。Figure20.1传统的装配与封装硅片测试和拣选引线键合分片塑料封装最终封装与测试贴片集成电路封装的4个重要功能1.保护芯片以免由环境和传递过程引起损坏；2.为芯片的信号输入和输出提供互连；3.芯片的物理支撑；4.散热四边形扁平封装(QFP)无管脚芯片载体(LCC)塑料电极芯片载体(PLCC)双列直插封装(DIP)薄小型封装(TSOP)单列直插封装(SI

3、P)Figure20.2典型IC封装形式集成电路封装形式的约束条件集成电路的封装层次第二级封装印刷电路板装配第一级封装：IC封装最终产品装配：电路板装到系统中的最终装配为在印刷电路板上固定的金属管脚管脚管脚插入孔中然后在PCB背面焊接表面贴装芯片被焊在PCB的铜焊点上.边缘连接电极插入主系统PCB组件主电子组件板电极Figure20.3传统装配最终装配由要求粘贴芯片到集成电路底座上的操作构成。由于制造的大部分成本已经花在芯片上。因此在最终装配过程中成品率是至关重要的。在20世纪90年代后期，所有集成电路装配中估计有95％采用

4、了传统的最终装配，并由下面4步构成：背面减薄分片装架引线键合背面减薄在芯片的制造过程中，为了为了增加机械强度使破碎率降到最小，随着硅片直径的增大，硅片的厚度也随之增加(直径为300mm的硅片，其厚度约为775mm)。然而硅片厚度越厚，分(划)片就越困难，另外厚度越大其热阻就越大，越不利于芯片的散热。薄的硅片不仅热阻明显减小，还能在薄ULSI装配中有效减少热应力及最终集成电路管壳的外形尺寸和重量。背面减薄工艺使用设备与硅片的抛光类似，如图20.4所示。操作中应注意将引入到硅片的应力降到最低以防止硅片的破碎。转动和摆动秆转动卡盘

5、上的硅片向下施加力Figure20.4背面减薄分片分片就是将背面减薄后的硅片使用金刚石刀刃划片锯把芯片从硅片上切下来。划片时应注意X、Y两个方向上的对准。锯刃通常切透硅片厚度的90～100％。硅片台锯刃Figure20.5分片装架分片后硅片将进行装架操作。装架时每个好的芯片被粘贴到底座或引线框架上。粘贴工具要求灵活性以粘贴芯片到各种应用情况，包括引线框架、陶瓷基座和电路板。芯片引线引线框架塑料DIPFigure20.6装架芯片粘贴芯片粘贴通常使用粘贴工艺如下：环氧树脂粘贴共晶焊粘贴玻璃焊料粘贴环氧树脂粘结最常用的方法之一，缺

6、点是散热较差，为了获得较好的散热性能，可以在环氧树脂中加入银粉制成导热树脂。共晶焊粘贴共晶焊粘贴需要在芯片背面淀积一层金，然后使用合金方式将金粘贴到具有金属化表面的基座上。玻璃焊料粘贴玻璃焊料有银和悬浮在有机媒介中的玻璃颗粒组成，芯片不需要金属化，可直接粘贴在Al2O3陶瓷基座上。优点是实现密封保护器件免受潮气和沾污。芯片环氧树脂引线框架Figure20.7芯片粘结（环氧树脂粘贴）SiliconGoldfilm金/硅共晶合金Al2O3Figure20.8芯片粘结（Au-Si共晶贴片）引线键合引线键合是将芯片表面的金属压点和引

7、线框架上或基座上的电极内端进行电连接(图20.9)。键合线是Au、Al或含金的合金线，直径通常在25到75mm之间。引线键合的工艺有三种，区别在于各自的引线端点所使用的能量类型不同。分别是：热压键合超声键合热超声球键合压模混合物引线框架压点芯片键合的引线管脚尖Figure20.9从芯片压点到引线框架的引线键合柱器件压点Figure20.10热压键合引线楔压劈刀(1)劈刀向上移动导给劈刀更长的引线(3)超声能压力引线框架(4)劈刀向上移动在压点旁将引线折断(5)(2)Al压点超声能压力芯片Figure20.11超声线键合顺序(

8、2)H2火焰球(1)金丝毛细管劈刀(5)压力和加热形成压点引线框架(6)劈刀向上移动在压点旁将引线折断在压点上的焊球压力和超声能芯片(3)劈刀向上移动并导入更长的引线Die(4)Figure20.12热超声球键合柱器件测试中的芯片钩样品卡Figure20.13引线键合拉力试验传统封装IC有