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《行业标准：GB-T14604-1993 电子工业用气体 氧.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、中华人民共和国国家标准GB/'r14604一93电子工业用气体氧Gasesforelectronicindustry-Oxygen飞主题内容与适用范围本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电广「业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀划和剥离。也可用于光导纤维。分f式:0卞!{对分子质量:31.999(1989年国际相对原子质量表)2引用标准‘”190危险货物包装标志(;B3863L
2、业用气态氧GB4844氦气GB5099钢质无缝气瓶GB5832.2气体中微量水的测定露点法GB668。液体化工产品采样通则G136681气体化工产品采样通则GB7144气瓶颜色标记(:137445氢气GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB8991气体中微量氢的测定气相色谱法GB/T14605氧气中微量氢、氮和氢含量的测定气相色谱法GB/T14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法3技术要求电子工业用气体氧的质量应符合下表的要求】指标项目超大规模集成电路级半导体及集成电路级电
3、子级和散装液态氧氧纯)变，川“)99.9853"K含址.1o6(1，:59:5袱含缺.JO’·(100国家技术监督局1993-0s-26批准1994一07一01实施GB/T14604一93续表指标项目超大规模集成电路级半导体及集成电路级电子级和散装液态氧氮含量,10s蕊30100100一氧化碳含量,10‘(1二氧化碳含量,10-G蕊1一氧化碳和二氧化碳含量,10-巧夏55总烃含量(以甲烷计),10‘蕊1525氧化亚氮含量,10”镇122氟含撼,10蕊10水含傲,10‘蕊222总杂质含量(包括稀有气
4、体),1。一‘毛14750005000注:0)本标准不包括对颗粒的技术要求，该技术要求由供需双方商定。②纯度及含量均以体积分数表示4检验方法4"1采样4.1.1瓶装气态氧的采样应符合GB6681的规定。采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不得转移4.1.2管道输送的气体氧，采样时尽可能使用短的金属管将样品气直接送人分析仪。4.1.3液态氧的采样应符合GB668。的规定。液态氧必须从液相取样并保证使液态氧完全气化后恢复到常温方能进样4.2氧气纯度的测定4.2.1超大规模集成电路级氧纯度的测定用
5、扣除杂质含量的差减法，按式(1)计算氧的纯度(v/V):9,=100一(叭+9e+乳+P4+R+91+妈+丹+"4)X10-'··⋯⋯(1)式中:91-氧的纯度，10一，;9)-氢含量,10-1;"k氢含量,10-`;外—氮含量,10-s;外—一氧化碳含量，10-`;帆—二氧化碳含量,10-0,叭—总烃含量,10-s,外—氧化亚氮含量,10-s;S0-氢含量,1。一‘，外—水含量,10-6,4.2.2半导体及集成电路级，电子级和散装液态级氧纯度的测定.按GB3863中3.1规定的方法进行测定。4.
6、3氢含量的测定按GB8991的规定进行测定。GB/T14604一934.4氢、氮及氢含量的测定按GB/T14605中的规定进行测定。4.5一氧化碳和二氧化碳的测定按GB8984的规定进行测定。4.5.1测定一氧化碳时，吸附剂采用。.25-0.20mm的13X分子筛，在350℃下通氢气活化4h;色谱柱温度为50C;进样量为3mL;最低检恻量为0.5X10-e(V/V),4.5.2测定二氧化碳时，采用长40cm、内径2mm的不锈钢管柱，内装。.20-0-15mm的TDX，在130℃下通氢气活化4h;色
7、谱柱温度为40"C;进样量为3mL,4.5.3允许采用预切割除氧法测定一氧化碳和二氧化碳的含量。46总烃含量的测定按GB/T14606的规定进行测定。4.了水含量的测定按GB5832.2的规定进行测定。4.8氧化亚氮含量的测定4.8.1方法及原理采用氦离子化气相色谱法。本方法基于潘宁效应原理。载气氦进人检测器时，在氮源辐射的p粒子作用下，部分氦原子被激发到亚稳态。样品气经色谱柱分离后随载气一起进入检测器，当样品中含有电离能比亚稳态氦原子的激发能低的组分时，该组分即与亚稳态氦原子发生碰撞而被电离，在
8、外加电场作用下，形成离子流、在一定范围内，输出的离子流与该组分浓度成正比。4.8.2仪器带有氦离子化检测器的气相色谱仪。要求该仪器对氧化亚氮的最低检测量为0.5x1o-s,4.8.3操作参考条件4.8-3.1载气:氦气，GB4844中的高纯氦，流量为30^-40mL/min,4.8.3.2操作气:氦气，GB4844中的纯氦一级品，主机压力表示值。.3MPa,4.8.3.3渗杂气:氢气，GB7445中的高纯氢，主机压力表示值0.05MPa,4.8-3.4色谱柱:长4m、内径3mm的不
