泄漏率换算表.doc

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1、泄漏率换算表(2014-05-2321:55:30)转载▼标签：常用的泄漏检测方式：1．气泡检漏。最小可检测泄漏为10-4atm-cc/sec。2．压力衰减。最小可检测泄漏受控于时间，通常为0.01atm-cc/sec。3．超声波检漏。最小可检测泄漏为0.01atm-cc/sec。4．氦气检漏。最小可检测泄漏为10-11atm-cc/sec。Pa·m3/sTorr·L/smbar·L/satm·cc/sstd·cm3/s1Pa·m3/s17.5109.99.91Torr·L/s0.13311.331.33

2、1.331mbar·L/s0.10.7510.990.991atm·cc/s0.1010.761.01111std·cm3/s0.1010.761.01111std·cm3/s=0.101Pa·m3/s1std·cm3/s=1.01mbar·L/s1Pa·m3/s=9.9std·cm3/s