单晶硅片单晶炉设备工艺流程.ppt

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1、单晶硅设备培训目录1.硅料的提炼2.单晶硅片工艺流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升，埚升介绍10.加热部分硅的提炼：硅，Si,地球上含硅的东西多的很好像90%以上都是晶硅的，也就是单晶硅。太阳能级别的硅纯度6N以上就可以了。开始是石头，（石头都含硅），把石头加热，变成液态，在加热变成气态，把气体通过一个密封的大箱子，箱子里有N多的子晶加热，两头用石墨夹住的，气体通过这个箱子，子晶会把气体中的一种吸符到子晶上，子晶慢慢就变粗了，因为是气体变固体，所以很慢，一个月左右，箱子里有就很多长长的原

2、生多晶硅。1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升，埚升介绍10.加热部分目录单晶硅片工艺流程：1.酸洗：使用稀硝酸HNO3,进行清洗，去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅。2.清洗：清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。3.单晶硅料烘干：去除水分。4.挑料：区分P型，N型硅料。5.配料：对拉晶的硅料型号进行匹配。6.单晶炉拉晶：7.硅棒检测：检查有无位错，棱线断等现象。8.开断：将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。9.包装：将开断后的单晶硅棒进行包装，送至下一道工序10.磨圆

3、：将单晶硅棒四个直角进行磨圆。11.多线切割：瑞士的264，265。日本的PV800,MDM442DM设备进行切割。0.33mm。线切割原理：12.清洗：13.单晶硅片检测：1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升，埚升介绍10.加热部分目录目录1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升，埚升介绍10.加热部分目录1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.

4、单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升，埚升介绍10.加热部分单晶炉种类：单晶炉，目前可以分为：小松炉；642炉；70炉；莱宝炉；80炉；85炉；90炉；95炉；97炉。目前现在国内普遍使用的单晶炉型号为80炉；85炉；90炉。各个单晶炉的工作原理相同，都是根据4的速度进行晶体直径控制及可控硅整流提供50V直流电源，进行加热。小松炉；642炉；70炉，电气控制部分为按钮式；莱宝炉产生后，以后的单晶炉都采用触摸屏式。目录1.Si的介绍2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8

5、.单晶工艺流程9.晶升，埚升介绍10.加热部分目录1.Si的介绍2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升，埚升介绍10.加热部分1.提拉头：提拉头：晶升电机，晶转电机，离合器，钢丝绳，光感限位，磁流体等部件组成。作用：在拉晶过程中，提供晶升与晶转速度，通过PCC控制模块的开关量变化，来控制晶体直径。2.副室，翻板阀，主室：翻板阀作用：在拉晶过程中，对于提纯，拉ABCD段时，用于隔离主室与副室，使主室温度，压力一定。副室作用：拉晶过程中，已拉出的单晶棒存放的位置。主室作用：容纳加

6、热器，石英坩埚，导流罩等，用于硅料融化的容器。炉盖：CCD测径仪观察窗水路接头整体锻造，超低碳不锈钢法兰主室内部：籽晶夹籽晶石英坩埚加热器单晶棒石棉碳粘三瓣埚目录：1.硅料的提炼2.单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升，埚升介绍10.加热部分单晶炉工艺流程：准备作业热态检漏取单晶和籽晶石墨件取出冷却真空过滤器清洗真空泵油检查更换石墨件清洗单晶炉室清洗石墨件安装石英坩埚安装装硅料籽晶安装抽空，检漏充氩气，升功率，融料引晶，放大，放肩，转肩等径生长收尾降功率停炉冷却详细介绍：1.准

7、备作业：穿戴好洁净工作服，鞋，带好一次性手套，耐高温手套，研磨巾，酒精，吸尘器，防尘口罩。准备好扳手等各类工具。准备好取晶和放石墨件的小车。并确认水，电，气等正常。2.热态检漏：检查上一炉功率关闭时间，在停炉冷却2小时后，关闭氩气总阀，开始愁高空，并记录时间。炉压到3帕以下，关闭主室球阀和真空泵电源。如0.5小时不到3帕，需通知维修人员处理。3.取单晶和籽晶：关闭2个速度，关闭氩气。打开翻板阀，将单晶替升至副室，慢慢旋转出副室，用晶快降下降单晶，在地面放木板，使单晶尖头垂直接触到木板，剪短籽晶连接，将单晶放入专用小车上。4.石墨件取出冷却：升炉盖，取出

8、导流罩，保温盖。石英坩埚等放在指定位置。5.真空过滤器清洗：用洗尘管清理各个真空管道，并将真空