磁控溅射阴极结构与工艺-GENCOA.pdf

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1、关于溅射阴极与工艺的分析报告(ForSurfacility成都研修班)Gencoa工艺工程师黄汉乐(HugoHuang)13560771299hugo@gencoa.com2016-10-22GENCOAKeyCompanyFacts•GENCOAisaprivatelimitedcompany(Ltd)•成立于1995byDrDermotMonaghan•公司位于英国利物浦•GENCOA是一个专业做阴极，离子源，以及speedflo的公司•GENCOA目前员工38人•（是目前全世界专业只做阴极配件最多人的公司）6design(Creo3DC

2、AD)8processdevelopment&simulation14assembly&test4sales&techsupport(2Asiabased)其中Hugo是亚洲的工艺/产品工程师3administration&accounts3hardware&software(Speedflo)•全球销售阴极数量达3000多个•全球销售speedflo达1000台，在反应溅射控制市场占比95%以上GENCOA2015年新建的工厂GENCOA新工厂将2016年3月20日落成。总占地面积为2600平方米包括设计部办公室，现代化组装厂以及R&D实验

3、室Gencoaofferthefollowingrangeofproducts&processtechnologyforthethinfilmindustrydevelopedoverthelast20yearsPlanarMagnetronsPlasmaPre-RotatableTreatersMagnetronsReactiveGasPulsedControlEffusionCells磁控溅射的阴极类型按形状分：①平面圆形阴极，主要是实验室研发设备。②平面矩形阴极，主要是生产设备（任意长度）。③靶材旋转圆柱阴极，主要是大中型生产设备（长度

4、<4米）。④磁棒旋转圆柱阴极，主要是管状镀膜设备（长度<4米）。磁控溅射的阴极类型按磁场设计分平衡磁场非平衡磁场高利用率HU可调平衡度全靶面刻蚀内回路磁场强磁场射频磁场HU高均匀性HighUniformityLS弱磁场LowStrengthForhighvacuumsputteringprocessSmallcantilevermounteddualcathodesExampleofcathodeanodeandtargetmountingAnodeAssembly(AnodeWall&AnodeAssembly)TargetClampAss

5、emblyDiaphragmTheuniqueanodedesignbothreducesheatloadonthesubstrateandpreventselectricalshortsduringoperationbyreducedcoatingbuild-upontheanodeAnodeisat“zeroheight”comparedtotargetLowprofileanodebelowtargetsurfaceOptionalanodecoolingforwebcoatingorhotchambersHavingtheanodea

6、tzeroheightmeanstargetthicknessadjustmentwithoutachangetotheanode.Integralgasinjectionthroughtheanodewall–singleormultizoneExampleofplasmapre-treatingmagnetronandsmalldoublecathodeForOLEDandtouchscreensSmallsourcesforR&DwiththeoptionofVTechfullyadjustablemagneticsGencoaRetr

7、ofits-magneticupgradestoexistingmagnetronsandvariouslevelsofsourceenhancementdependingupontheneedsnewdiaphragmsystemtoisolatewaterfrommagnetsandeliminatewaterleakduringtargetchangenewcoolingbodyassemblynewmagneticarraynewbody/re-machiningofthebodyComparisonofstandard2polean

8、dhighyieldtypemagneticsMagneticOption-HY2Dmagneticfieldmodelfor2Dmagneticfieldmode