真空设备操作维护保养规.doc

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1、1．目的：按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产，提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生。2．范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养3．操作规程3.1旋片泵操作规程3.1.1性能规范型号：2X－70几何抽速：70L/S；极限压力：1帕；泵转速：450转/分；电机：Y132L-4功率：5.5KW；电机转速：1440转/分；配用三角带；B/1600：4根；冷却水消耗量：480L/H；润滑油：1#真空机械泵油（KK-1）储存量8Kg；口径：进气90mm排气60mm。3.1.2操作规范3.1.2.1起动前的准备

2、（1）检查皮带的松紧程度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉紧，以减少起动力矩。（2）检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。（3）检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。（4）对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活。（5）检查冷却水是否正常（管路上水压表水压≤0.2－0.3MPa）、润滑油是否正常。3.1.2.2起动（1）打开冷却水阀。（2）合上电源的开关，起动电机。（3）泵启动后，再缓慢打开进气阀，以免泵的负荷急剧增加。3.1.2.3停车停泵时应先关断进气口阀门，打开放弃阀法对泵放气。3.1.3注意事

3、项3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后换油一次，以后每2-3个月换油一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间。3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度，水温在20-40℃之间，不应超过40℃，即泵温不超过环境温度加上40℃。3.1.3.4润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。3.1.3.5入停车后泵温要下降至5℃以下时，泵内冷却水必须除净。3.2罗茨真空泵操作规程3.2.1性能规范型号：RTO,300S;抽气速率：300L/S；极限压力：0.6帕；进排气口径：160m

4、m/100mm配用电机：3KW3.2.2操作规范3.2.2.1起动前准备（1）检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2MPa）。（2）检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寖没3～4个齿高度为宜。电机侧油位应以寖没1/3～1/2油窗高度为宜。润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/3～1/2之间。（3）如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果吸入气体有腐蚀性，必须采取中和措施。（4）检查各部分有无松动现象，较长时间不用后，应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。（5）检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。3.2.2.

5、2起动（1）起动前级泵。（2）打开本泵的进气阀门。（3）打开冷却水阀门，当容器压力达到工艺规定压力时，起动本泵。（4）泵运转时应平稳，转子不得有冲击声。（5）泵的轴封处不得有漏油现象。（6）泵在运转过程中如局部升温过大，电流计读数突然发生变化，产生不规则的噪声或其它异常现象，应立即停泵检查。3.2.2.3停泵（1）停泵时，应先停罗茨泵，再停前及泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高，负荷增大而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。或会导致前级泵倒转，前级泵泵油倒灌入管道或罗茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境。（2）停止本泵并关闭排气阀门。（3）停止前级泵

6、。（4）关闭冷却水进水阀。3.2.3注意事项3.2.3.1应经常保持使用环境清洁干净。3.2.3.2应经常注意各部件的润滑情况，如发现润滑油不足时，应及时补充，如发现润滑油不清洁时，应及时更换。3.2.3.3润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。3.3扩散泵操作规程3.3.1性能规范型号：KT600600表示吸气口径；抽气速率：≥16000L/S；极限真空：6.5X10-5Pa；加热功率：9KW；装油量：6-7L(ks-3)；耗水量：≤1000L/H；进口/出口：600/150。3.3.2操作规范3.3.2.1起动前准备(1)检查冷却水管是否畅

7、通无阻（管路上水压表水压≤0.2～0.3MPa）；(2)起动前，高真空阀门应处于关闭位置。3.3.2.2起动（1）起动前级泵，抽出扩散泵内的气体。（2）接通冷却水（注意：急冷水套在扩散泵停机时才能通水）。（3）接通扩散泵加热电源，对扩散泵加热60min后，当容器压力达到工艺规定压力时，打开高真空阀门，扩散泵可以进入正常工作状态。3.3.2.3停机（1）关闭高真空阀门；（2）切断扩散泵加热其电源，停止加热。（3）当泵底温度≤60℃关闭管道阀门。（4）关闭前级泵，并向前级泵充气，以防返油。（5）停止对扩散泵供水。3.3.3注意事项3.3.3.1扩散泵出水

8、温度应≤40℃，否则应立即检查处理。3.3.3.2如果扩散泵在正常运行中突然停电停水，应按照以下步骤处理：（