真空设备操作维护保养规程

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1、Lgt作业指导书文件编号:发布日期:2015年2月1日版本:A—0题目:真空泵及真空系统操作维护保养规程1.目的:按规定进行设备的管理,指导正确操作、使用、维护和保养设备,保证生产,提高产品质量,改进环境绩效,预防和减少事故发生。2.范围:本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养3.操作规程3.1旋片泵操作规程3.1.1性能规范型号:2X-70几何抽速:70L/S;极限压力:1帕;泵转速:450转/分;电机:Y132L-4功率:5.5KW;电机转速:1440转/分;配用三角带;B/1600:4根;冷却水消耗量:480L/H;润滑油:1#真空机械泵油(KK-1)

2、储存量8Kg;口径:进气90mm排气60mm。3.1.2操作规范3.1.2.1起动前的准备(1)检查皮带的松紧程度,起动前可以松一些,起动后调节底座上的螺栓,慢慢拉紧,以减少起动力矩。(2)检查各部分有无松动现象,电机转向是否同泵的要求符合。(3)检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。(4)对于长期未工作的泵,起动前应间断起动电机,检查是否灵活。(5)检查冷却水是否正常(管路上水压表水压≤0.2-0.3MPa)、润滑油是否正常。第21页共19页Lgt作业指导书文件编号:发布日期:2015年2月1日版本:A—0题目:真空泵及真空系统操作维护保养规程3.1.2.

3、2起动(1)打开冷却水阀。(2)合上电源的开关,起动电机。(3)泵启动后,再缓慢打开进气阀,以免泵的负荷急剧增加。3.1.2.3停车停泵时应先关断进气口阀门,打开放弃阀法对泵放气。3.1.3注意事项3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁,新泵工作150小时后换油一次,以后每2-3个月换油一次,如使用条件不好,真空度下降,可以缩短换油时间。3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度,水温在20-40℃之间,不应超过40℃,即泵温不超过环境温度加上40℃。3.1.3.4润滑油应符合要求,否则达不到所要求的真空度。3.1.3.5

4、入停车后泵温要下降至5℃以下时,泵内冷却水必须除净。3.2罗茨真空泵操作规程3.2.1性能规范型号:RTO,300S;抽气速率:300L/S;极限压力:0.6帕;进排气口径:160mm/100mm配用电机:3KW3.2.2操作规范3.2.2.1起动前准备第21页共19页Lgt作业指导书文件编号:发布日期:2015年2月1日版本:A—0题目:真空泵及真空系统操作维护保养规程(1)检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压≤0.2MPa)。(2)检查两端盖内的润滑是否足够,齿轮箱侧油位应以寖没3~4个齿高度为宜。电机侧油位应以寖没1/3~1/2油窗高度为宜。润滑油封的

5、油杯油位应在油杯高度的1/3~1/2之间。(3)如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末,应在进气口前加装防尘或过滤装置,如果吸入气体有腐蚀性,必须采取中和措施。(4)检查各部分有无松动现象,较长时间不用后,应拆下旁通溢流阀,检查有无锈死。(5)检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。3.2.2.2起动(1)起动前级泵。(2)打开本泵的进气阀门。(3)打开冷却水阀门,当容器压力达到工艺规定压力时,起动本泵。(4)泵运转时应平稳,转子不得有冲击声。(5)泵的轴封处不得有漏油现象。(6)泵在运转过程中如局部升温过大,电流计读数突然发生变化,产生不规则的噪声或其它异常现象,应立即

6、停泵检查。3.2.2.3停泵(1)停泵时,应先停罗茨泵,再停前及泵,否则会导致罗茨泵出口压力升高,负荷增大而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。或会导致前级泵倒转,前级泵泵油倒灌入管道或罗茨泵,导致前级泵缺油,并有可能污染被抽环境。(2)停止本泵并关闭排气阀门。(3)停止前级泵。第21页共19页Lgt作业指导书文件编号:发布日期:2015年2月1日版本:A—0题目:真空泵及真空系统操作维护保养规程(4)关闭冷却水进水阀。3.2.3注意事项3.2.3.1应经常保持使用环境清洁干净。3.2.3.2应经常注意各部件的润滑情况,如发现润滑油不足时,应及时补充,如发现润滑油不清

7、洁时,应及时更换。3.2.3.3润滑油应符合要求,否则达不到所要求的真空度。3.3扩散泵操作规程3.3.1性能规范型号:KT600600表示吸气口径;抽气速率:≥16000L/S;极限真空:6.5X10-5Pa;加热功率:9KW;装油量:6-7L(ks-3);耗水量:≤1000L/H;进口/出口:600/150。3.3.2操作规范3.3.2.1起动前准备(1)检查冷却水管是否畅通无阻(管路上水压表水压≤0.2~0.3MPa);(2)起动前,高真空阀门应处于关闭位置。3.3.2.2起动(1)起动前级泵,抽出扩散泵内的气体。(2)接通冷却水(注意:急冷水套在扩散泵停机

8、时才能通水

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