硅产业调研和基于硅资源深加工硅材料标准探究(一)

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1、硅产业调研和基于硅资源深加工硅材料标准探究(一)　　【摘要】文章对国际与国内硅产业进行了调研，重点对主要产业、主要产品的现状和发展趋势进行了评估和预测，在对硅产业分类的基础上建立了硅材料标准体系。文章以实施标准化战略，助推我国硅产业跨越发展的视角，对有关硅资源深加工的主要产业、主要产品的标准状况进行了分析，探明了标准空白地带，指出了填补、完善的具体项目和措施。【关键词】硅产业；调研；标准研究SiliconIndustryInvestigateandSiliconMaterialStandardResearchBasedonDeepProcessi

2、ngofSiliconResources（1）MiaoXue-yuanChengShang-xuBoLei-ming（DonghaiQualityTechnicalSupervisionBureau，Lianyungang，222300，China）Abstract：Inthisarticle，thesiliconindustryofinternationalanddomesticwasinvestigated，thewritersmadetheassessmentandpredictiononthestatusanddevelopmenttre

3、ndofthemajorindustriesandthemainproducts，andestablishedthe12siliconmaterialstandardsystemonthebasisofclassificationinthesiliconindustry.Standedbythestandardizationstrategyandthedevelopmentofsiliconindustry，thispaperanalyzedthestandardconditionsofmajorindustriesandthemainprodu

4、ctsofdeepprocessingofresourcesonsilicon，andpointedouttofill，completespecificprojectsandmeasurement.Keywords：ciliconindustry，investigate，standardresearch1、引言基于硅资源深加工的硅材料产业（以下简称硅材料产业）是全球性的朝阳产业和战略性产业，发展势头迅猛，全球60万家硅企业生产的约80亿美元的硅材料，支撑起了2230亿美元的半导体集成电路产业，进一步支撑起数以万亿美元计的电子、计算机、通信等信息产

5、业，全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中，95%以上的半导体器件是用硅材料制作，集成电路的99%以上用硅制作。硅原料和硅制品的产品贸易额达到5000亿美元以上，全球硅业研发机构及学术团体1000多个，行业组织300多个。12当前，各国政府高度重视硅材料产业的发展，如美国、日本、德国、欧盟均制定了诸如21世纪国家纳米纲要、光电子计划、太阳能电池（光伏）发电计划、下一代照明光源计划等新材料、新产业规划。我国政府也高度重视硅产业的发展，先后采取各种措施鼓励、扶持硅材料产业规划与建设。涉及硅原料和硅产品的国际和各国标准达到8000余项，我国相关标

6、准则不足100项，远远落后于发达国家水平，也不能满足自身快速发展的需要。因此，站在国家战略高度，立足国际、国内硅产业发展态势和市场需求，研究我国硅材料产业及其标准化战略，制定并实施适合我国国情的硅材料标准体系及标准，对提升我国硅产业的国际竞争力具有十分重要的现实意义。2、国内外硅材料产业调研与分析2.1工业硅工业硅及深加工产业是目前国际上的硅产业发展的核心，主要集中在晶体硅材料（单晶硅、多晶硅、硅外延片）和有机硅材料以及石英晶体元器件等方面的生产和研究。（1）多晶硅12多晶硅材料生产在产业链中处于高端，市场需求旺盛，产品供不应求。主要用于半导体芯

7、片及太阳能、电池芯片、金属陶瓷、宇宙航行、光导纤维通信以及硅有机化合物。生产技术掌握在日本Tokuyama、三菱、住友、美国的Hemlock、Asimi、SGS、MEMC公司，德国的Wacker公司手中。国际上多种生产工艺路线并存，产业化技术相互封锁和垄断。主要有改良西门子法、硅烷法和流化床法，其中西门子改良法约占世界总产能的80%。短期内技术垄断的局面不会改变，但研发活跃，涌现出冶金法、熔融析出法等新工艺技术。我国多晶硅质量已能满足集成电路用单晶的要求，但多晶硅核心技术三氯氢硅还原法被上述国外企业垄断，核心技术工艺没有完全掌握，尚不能完全满足高

8、阻区熔硅要求。与国际先进水平相比，生产成本明显偏高（见表1-1），市场竞争力不强。我国60%以上的的多晶硅材料仍需进口。表1-1国内外多