电池和组件生产工艺流程图.doc

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1、晶体硅太阳能电池生产工艺流程图 硅片装盒超声波清洗去除硅片损伤层形成绒面（制绒）硅片甩干扩散刻蚀去PSG硅片甩干PECVD印刷背面电极烘干应刷铝背场烘干印刷正面电极烧结测试包装形成绒面降低反射率磷扩散形成P-N结去除边缘P-N结防止上下短路清洗扩散后硅片表面的磷硅玻璃沉积SIN薄膜减少反射率形成良好的欧姆接触特性和焊接性能收集载流子收集载流子金属和硅形成良好的欧姆接触，趋驶成合金   电池片工艺流程说明：  (1)清洗、制绒：首先用化学碱（或酸）腐蚀硅片，以去除硅片表面机械损伤层，并进行硅片表面织构化，形成金

2、字塔结构的绒面从而减少光反射。现在常用的硅片的厚度在 180μm 左右。去除硅片表面损伤层是太阳能电池制造的第一道常规工序。  (2)甩干：清洗后的硅片使用离心甩干机进行甩干。  (3)扩散、刻蚀：多数厂家都选用P型硅片来制作太阳能电池，一般用POCl3液态源作为扩散源。扩散设备可用横向石英管或链式扩散炉,进行磷扩散形成P-N结。扩散的最高温度可达到850-900℃。这种方法制出的PN结均匀性好，方块电阻的不均匀性小于10％，少子寿命大于10 微秒。扩散过程遵从如下反应式：  4POCl3＋3O2（过量）→ 

3、2P2O5＋2Cl2（气）2P2O5＋5Si → 5SiO2 + 4P  腐蚀磷硅玻璃和等离子刻蚀边缘电流通路，用化学方法除去扩散生成的副产物。SiO2 与HF生成可溶于水的SiF62-，从而使硅表面的磷硅玻璃（掺P2O5的SiO2） 溶解，化学反应为：  SiO2 ＋6HF → H2（SiF6）＋2H2O (4)减反射膜沉积：采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)   积一层氮化硅减反射膜，不仅可以减少光的反射，而且

4、由于在制备SiNx 减反射膜过程中有大量的氢原子进入，因此也起到了很好的表面钝化和体钝化的效果。这是因为对于具有大量晶界的多晶硅材料而言，晶界的悬挂键被饱和，降低了复合中心的原因。由于表面钝化和体钝化作用明显，就可以降低对制作太阳能电池材料的要求。由于增强了对光的吸收，氢原子对太阳能电池起到很好的表面和体内钝化作用，从而提高了电池的短路电流和开路电压。  (5)印刷、烧结：为了从电池上获取电流，一般在电池的正、背两面制作电极。正面栅网电极的形式和厚度要求一方面要有高的透过率，另一方面要保证栅网电极有一个尽可能

5、低的接触电阻。背面做成BSF结构，以减小表面电子复合，印刷后要进行高温烧结。   (6)检测分选：为了保证产品质量的一致性，通常要对每个电池片测试，并按电流和功率大小进行分类，也可根据电池效率进行分级。  (7)包装入库：将分选好的电池片一部分可以进行包装，入库，准备外卖；其他的准备进入积一层氮化硅减反射膜，不仅可以减少光的反射，而且由于在制备SiNx 减反射膜过程中有大量的氢原子进入，因此也起到了很好的表面钝化和体钝化的效果。这是因为对于具有大量晶界的多晶硅材料而言，晶界的悬挂键被饱和，降低了复合中心的原因

6、。由于表面钝化和体钝化作用明显，就可以降低对制作太阳能电池材料的要求。由于增强了对光的吸收，氢原子对太阳能电池起到很好的表面和体内钝化作用，从而提高了电池的短路电流和开路电压。  (5)印刷、烧结：为了从电池上获取电流，一般在电池的正、背两面制作电极。正面栅网电极的形式和厚度要求一方面要有高的透过率，另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻。背面做成BSF结构，以减小表面电子复合，印刷后要进行高温烧结。   (6)检测分选：为了保证产品质量的一致性，通常要对每个电池片测试，并按电流和功率大小进行分类，也

7、可根据电池效率进行分级。  (7)包装入库：将分选好的电池片一部分可以进行包装，入库，准备外卖；其他的准备进入电池组件生产工序待用。电池组件生产工序待用。晶体硅太阳能电池组件流程图电池片分选电池片焊接电池串焊接玻璃清洗TPT,EVA裁剪电池板铺设待压组件初测试层压裁边逆电流测试封装固化清洗测试，贴标包装入库电池组件工艺流程说明： (1)电池分选：由于采用自产电池片，电性能测试在电池片工艺流程中已经完成，该步骤主要对电池片的色差、崩边、陷裂、缺角等外观不良进行筛选。  (2)正面焊接：是将汇流带焊接到电池正面（

8、负极）的主栅线上，汇流带为镀锡的铜带，我们使用的焊接机可以将焊带以多点的形式点焊在主栅线上。焊接采用热风或红外焊接方式。焊带的长度约为电池边长的2倍。多出的焊带在背面焊接时与后面的电池片的背面电极相连。  (3)背面串接：背面焊接是将多片电池串接在一起形成一个组件串。  (4)层压敷设：背面串接完成且经过检验合格后，将组件串、玻璃和切割好的EVA、背板按照一定的层次敷设好，准备层压。敷设时保证各层之