紫外激光双波段高反射镜的研制.pdf

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1、第29卷第3期光电技术应用Vo1．29．No．32014年6月ELECTR0．OPTICTECHNOLOGYAPPLICAT10NJune，2014光学设计·紫外激光双波段高反射镜的研制陈恒，熊仕富，韩建，孙鸿伟(1．长春理工大学光电工程学院，吉林长春130022；2．长春理工大学空间光电技术研究所，吉林长春120022)摘要：通过非线性光学频率变换的方式，1064FinYAG激光可获得355Fin、266nm波长的激光。在此系统中工作的反射镜必须同时满足两个波段的高反射。根据薄膜设计理论选择合适的镀膜材料，采用电子束离子辅助沉积_[艺，经过参数优化和反复试验，在石英基片上制备了355n

2、m反射率为97．9％，266nm反射率为96．8％的双波段反射镜，且在紫外波段355nm的激光损伤阈值为1．76J]cm2,266nfl为1．12J／em。测试结果表明，此反射镜的各项性能满足使用要求。关键词：紫外高反射镜；激光损伤阈值(LIDT)；离子辅助沉积(IAD)；薄膜中图分类号：0484文献标识码：A文章编号：1673．1255(2014)．03—0001—04ResearchonDual—bandLaserHighReflectionMirrorinUltravioletBandCHENHeng，XIONGShi—fu，HANJian，SUNHong—weir．Changch

3、unUniversityofScienceandTechnology，SchoolofElectro—opticalEngineering,Changchun130022,China,"2．ChangchunUniversityofScienceandTechnology，InstituteofSpaceElectro—opticalTechnology,Changchun130022，China)Abstract：Thelaserinthebandof355nmand266nmcanbeproducedby1064nmYAGlaserthroughnonlinearopticalfre

4、quencyconversionmode．Highreflectionfromdoublebandsmustbemetbythemirroroperatinginthesystem．Accordingtofilmdesigntheory，theappropriatecoatingmaterialischosen．Basedonelectronbeamionassisteddeposition(IAD)technology，throughoptimizingparametersandrepeatingtests，thedoublebandmirrorismanufacturedonqua~

5、zsubstrate，thereflectivityiS97．9％at355nmand96．8％at266nm．thelaserinducedana．agethreshold(LIDT)is1．76J／cmat355nmand1．12J／cm。at266nmuhravioletband．Testresuhssh0Wthatallthecharacteristicsofthemirroraccordwithoperationrequirements．Keywords：highuhravioletreflectionmirror；laserinducedamagethresholdfLIDT

6、)；ionassisteddeposition(IAD)；thinfilm紫外激光器具有光束质量好、波长短、单光子外激光器向高能量发展的技术难题之一正是薄膜能量高、分辨率高、稳定性好及体积紧凑等诸多优技术。355nm和266nm的紫外激光是由(YAG)l点，非常适合于科研、工业、OEM系统集成开发。科064nm倍频获得。研方面，紫外激光器可以用于原子／分析光谱、化学动力学等方面的研究。工业方面，基于紫外激光器1材料选择生产的磁盘的数据存储盘空问比蓝光激光器高出20倍，在半导体、聚合物、陶瓷及铜质合金等材料的光学薄膜材料的选择，主要从其透明度、折射加工方面具有明显的优势和广阔应用前景。近几

7、率、机械牢固度、化学稳定性、吸收和散射性等方面年来，国内外对紫外激光器进行了大量的研究，高考虑。紫外波段可用的材料非常少，考虑到波长范能量紫外激光器已经成为研究的热点。而阻碍紫围及镀膜材料的特性，常用的高折射率材料为收稿日期：2014-04—17作者简介：陈恒(1988一)，男，吉林长春人，硕士研究生，主要从事光学薄膜方面的研究2光电技术应用第29卷HfO，低折射率材料有AI：O。、LaF，、NdF、MgF：、是由于蒸发速率大，沉积