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1、原子力显微镜一、实验目的1.了解原子力显微镜的工作原理。2．初步掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法。二、实验原理1.AFM（1）AFM的工作原理在AFM中用一个安装在对微弱力极敏感的微悬臂上的极细探针。当探针与样品接触时,由于它们原子之间存在极微弱的作用力(吸引或排斥力),引起微悬臂偏转。扫描时控制这种作用力恒定,带针尖的微悬臂将对应于原子间作用力的等位面,在垂直于样品表面方向上起伏运动,因而会使反射光的位置改变而造成偏移量，通过光电检测系统(通常利用光学、电容或隧道电流方法)对微悬臂的偏转进行扫描,测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化,此时激光检测器会记录此偏移
2、量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整。将信号放大与转换从而得到样品表面原子级的三维立体形貌图像。AFM的核心部件是力的传感器件,包括微悬臂(Cantilever)和固定于其一端的针尖。根据物理学原理,施加到Cantilever末端力的表达式为：F=KΔZΔZ表示针尖相对于试样间的距离,K为Can2tilever的弹性系数，力的变化均可以通过Cantilever被检测。（2）AFM关键部位：AFM关键部份是力敏感元件和力敏感检测装置。所以微悬臂和针尖是决定AFM灵敏度的核心。为了能够准确地反映出样品表面与针尖之间微弱的相互作用力的变化,得到更真实的
3、样品表面形貌,提高AFM的灵敏度,微悬臂的设计通常要求满足下述条件:①较低的力学弹性系数,使很小的力就可以产生可观测的位移;②较高的力学共振频率;③高的横向刚性,针尖与样品表面的摩擦不会使它发生弯曲;④微悬臂长度尽可能短;⑤微悬臂带有能够通过光学、电容或隧道电流方法检测其动态位移的镜子或电极;⑥针尖尽可能尖锐。(3)AFM的针尖技术探针是AFM的核心部件。如右图。目前,一般的探针式表面形貌测量仪垂直分辨率已达到0.1nm,因此足以检测出物质表面的微观形貌。普通的AFM探针材料是硅、氧化硅或氮化硅(Si3N4),其最小曲率半径可达10nm。由于可能存在“扩宽效应”,
4、针尖技术的发展在AFM中非常重要。探针针尖的几何物理特性制约着针尖的敏感性及样品图像的空间分辨率。因此针尖技术的发展有赖于对针尖进行能动的、功能化的分子水平的设计。只有设计出更尖锐、更功能化的探针,改善AFM的力调制成像(forcemodulationimaging)技术和相位成像(phaseimaging)技术的成像环境,同时改进被测样品的制备方法,才能真正地提高样品表面形貌图像的质量。(4)AFM的工作模式AFM有三种不同的工作模式:接触模式(contactmode)、非接触模式(noncontactmode)和共振模式或轻敲模式(TappingMode)。①
5、接触模式接触模式包括恒力模式(constant2forcemode)和恒高(constant2heightmode)。在恒力模式中过反馈线圈调节微悬臂的偏转程度不变,从而保证样品与针尖之间的作用力恒定,当沿x、y方向扫描时,记录Z方向上扫描器的移动情况来得到样品的表面轮廓形貌图像。这种模式由于可以通过改变样品的上下高度来调节针尖与样品表面之间的距离,这样样品的高度值较准确,适用于物质的表面分析。在恒高模式中,保持样品与针尖的相对高度不变,直接测量出微悬臂的偏转情况,即扫描器在z方向上的移动情况来获得图像。这种模式对样品高度的变化较为敏感,可实现样品的快速扫描,适用
6、于分子、原子的图像的观察。接触模式的特点是探针与样品表面紧密接触并在表面上滑动。针尖与样品之间的相互作用力是两者相接触原子间的排斥力,约为10-8～10-11N。接触模式通常就是靠这种排斥力来获得稳定、高分辨样品表面形貌图像。但由于针尖在样品表面上滑动及样品表面与针尖的粘附力,可能使得针尖受到损害,样品产生变形,故对不易变形的低弹性样品存在缺点。②非接触模式非接触模式是探针针尖始终不与样品表面接触,在样品表面上方5～20nm距离内扫描。针尖与样品之间的距离是通过保持微悬臂共振频率或振幅恒定来控制的。在这种模式中,样品与针尖之间的相互作用力是吸引力———范德华力。由
7、于吸引力小于排斥力,故灵敏度比接触模式高,但分辨率比接触式低。非接触模式不适用于在液体中成像。③轻敲模式在轻敲模式中,通过调制压电陶瓷驱动器使带针尖的微悬臂以某一高频的共振频率和0。01～1nm的振幅在Z方向上共振,而微悬臂的共振频率可通过氟化橡胶减振器来改变。同时反馈系统通过调整样品与针尖间距来控制微悬臂振幅与相位,记录样品的上下移动情况,即在Z方向上扫描器的移动情况来获得图像。由于微悬臂的高频振动,使得针尖与样品之间频繁接触的时间相当短,针尖与样品可以接触,也可以不接触,且有足够的振幅来克服样品与针尖之间的粘附力。因此适用于柔软、易脆和粘附性较强的样品,且不对
8、它们产生破
