铁电存储器的专利技术现状和趋势分析-论文.pdf

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1、-d]国科技信息2014年第16期·CHINASCIENCEANDTECHNOLOGYINFORMATIONAug．2014科技与市场罗晓雅DOI：10．3969／j．issn．1001—8972．2014．17．086铁电存储器的专利技术现状和趋势分析概述1994—2000年仅少数几件申请，2000年后，随着我国对知铁电材料具有自发极化特性，在外加电场作用下，极识产权保护和专利申请等相关鼓励政策，2001年-2013年，化强度可以发生改变和反转，不同的极化状态可以用于表申请量迅速增加，铁电存储器技术处于快速发展的时期。征不同的逻辑状态从而实现数据存储。由于铁电存储器具有非易失性、低功耗、

2、高速度、长寿命和抗辐照等优点，专利申请的地域分布及申请人类型∞卸∞∞∞∞0因此在射频IC卡、快速启动内存、系统芯片嵌入式缓存、在铁电存储器领域，在我国申请专利的国外申请人集航空航天领域具有广阔的前景。中于日本、美国、韩国和欧洲。图2是各地区在我国申请铁电存储器具有两种不同的读写机制，分别对应于铁发明专利申请数量比例图，其中我国申请人的发明专利申电随机存储器(FeRAM)和铁电场效应晶体管(FeFET)，请共162件，占总申请量的17．9％。日本共352件申请，FeRAM通过铁电电容存储数据，并通过与之相连的晶体占39％欧洲共169件申请，占18．7％，美国共126件申请，管完成数据的读写。

3、FeFET采用铁电材料作为场效应晶占14％，韩国有92件申请，占1O．3％。体管的栅介质层，铁电薄膜的不同极化取向决定了场效应铁电存储器领域的国内申请人分为科研院校、企业和晶体管的导通或者关闭，从而实现数据存储。大多数铁电个人申请三种类型。图3显示了各类型申请人的申请量比材料均为钙钛矿晶体结构，典型的铁电材料有锆钛酸铅例。其中，科研院所为该领域发明申请的主体，共132件，(PbZrxTil—xO3，简称PZT)，钛酸钡锶(SrxBal—xTiO3，占国内申请总数的81．5％，企业申请共计25件，占申请简称SBT)。专利是能够反映科学技术发展水平最新动态的情报文国外申请人申请量，降藤献，为了

4、给相关科技人员和专利申请工作提供参考，本文以中国专利文摘数据库(CNABS)为专利数据来源，通过标准的检索方式，使用关键词以及国际专利分类号网≈值轴主赛同格姥J(IPC)，对中国发明专利申请进行了全面检索和筛选，筛选出与铁电存储器相关的专利申请903件，并对上述数目；德翮据进行了深入分析，揭示了我国铁电存储器领域内发明技术的现状和发展趋势。量謦§HHHHC,aNNC-INN~-aN§NN国内铁电存储器总体申请量统计分析图1显示了从1991-2014年提交中国专利申请的国内国内申请人申请量／件酾外专利申请量，需要指出的是：由于大多数发明专利申请都是自申请Et起满18个月方进入文本公开程序，因

5、此部分2013年和2014年提出的专利申请还没有公开，因此本文图l中2013年和2014年的数据少于实际申请量。．．．．．．．网．I_1．．网。圈．lfII苜从图1可见，国外申请人在中国的最早申请始于1991年，并从1991年开始稳步增长，到2005年专利申请量鲥一鳙§N营c"qNN§N善t"qi【达到高峰后自2006年开始下降，而分析我国国内申请人专利申请量曲线可见：国内的最早申请始于1994年，自图1铁电存储器年度申请量一213一科技与市场中国科技信息2014年第16期·cHINASCIENCEANDTECHNOLOGYINFORMATIONAug．2014中国垒球主要申请人专利申请量

6、，}牛Infineon(德国)Fujitsu(日本)]~ATSUSHITA(日本)一SEIEO~PSON(日本)s^Isu(韩国)THINFIU．：：：：：：：：-：：ELECTRONICS(挪威)邢完棱篓警SY~ETRIX(美国)1哇％HYKIX(韩国)图2铁电存储器图3国内申请人类型SIE

7、EN3(德国)专利申请地域分布清华大学(中国)020406080100l20总数的15．4％，个人发明5件，占3．1％。在企业申请中，图4铁电存储器主要专利申请人中国台湾地区的企业申请14件，中国大陆地区的企业申请ll件。同时，大陆申请人主要集中于几个科研院所，其中排名前五的科研院所为：清华大学23

8、件、复旦大学Siemens的共同申请为3件。这是由于Symetrix主要从事l6件，浙江大学8件，华中科技大学6件、南京大学6件。铁电存储器产品的开发，它掌握了多项基于SBT的铁电与大陆申请人主要为科院院所不同的是，l4件台湾申请均存储技术方面的专利，并通过向各大半导体‘商提供专利为企业申请，其中旺宏电子股份有限公司9件。从专利申授权、产品代工的方式进行合作。Symetrix的在华争利覆请的技术领域分析，大陆申请主要集中