精密测量技术——二维测量仪.pdf

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1、测试测量技术与设备电子工业毫用设备■精密测量技术二维测量仪张建国，万承华(深圳清溢光电股份有限公司，广东深圳518057)摘要t目前国内LCD、IC封装及商精摩PCB等行业快速发展，精度越来越高，线缝越做越小，因为定位、套氽不良问题造成的报废也越来越太。由于大型精密测量仪开发存在技术难度大、前期投资多、市场需求量有限、投资见效慢等实际问题，周内测量仪市场面临着”有钱国外买，钱少则不买”的困难境地。有鉴于此，结合自身需要。清溢公司开发了CMMllo0二维坐标测量机，望我们的努力能为国内精密测量仪工业的发展做些贡献。关键词

2、：机器外罩；干涉仪；空气轴承中图分类号：TN606文献标识码：B文章编号：1004．4507(2015)01—0034．05PrecisionMeasuringTechn0l0gy——2DMeasuringMachineZHANGJianguo，WANChenghua(QingyiPrecisionMaskmaking(Shenzhen)Ltd，Shenzhen518057，China)Abstract：TheLCDindustrydevelopmentisrapid，theprecisionmeasurementis

3、criticalonqualitycontrol，butthereisnoequipmentinChina，SOwedevelopedtheCMM1100measuringmachine，itcallsatisfythemeasurementrequirementsofLCDindustry．Theprecisionmeasurementtechnologyisrelatedtoenvironmentalcontrol，mgtioncontrol，imageprocessing，lasermeasurement，sof

4、twareforallaspectsofthetechnology．Keywords：Chamber；Interferometer；Airbearings随着电子工业技术的发展和市场经济的深方便、功能齐全等性能，是时代赋予的课题。入，人们越来越重视产品的质量，越来越追求产品二维精密测量方法就是为适应这些要求而的性能。从精密加工的角度出发，要求检测工具更逐步形成的，并以其独特的优点逐步成为当今世灵敏、更精确，为实用方便，又要求大量程；从大生界范围内的一种新型测试手段。它是近代精密机产的快节奏的需求，对工件进行快速测量，要

5、求对械技术、激光技术、光电传感技术、计算机数据处检测数据进行自动处理、自动判断晨否合格或按理技术以及精密电子测控技术高度发展和相互公差大小自动分组等等。如何适应现代化生产的渗透的结果，是现代化生产、保证产品质量的有需要，使检测仪器具备准确度高，稳定性好、使用力工具。收稿日期：2014—12．31