原子层沉积成套装置主要技术指标.doc

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1、原子层沉积成套装置主要技术指标项目分类技术要求前驱体供给系统前驱体通道不少于六路：其中易挥发性液体三路，难挥发性液体及固体通道不少于两路，气体通道一路。对难挥发性前驱体通道的加热温度不低于270℃，对易挥发性液体前驱体通道的加热温度不低于70℃，气体通道除适用于一般非腐蚀性气体外，还需适用于臭氧等。反应器系统反应器管径为50mm，长度为800mm，可加热温度不低于400℃。另外需有4个样品台。同时保持零部件组装与拆卸的灵活性，以便与其他设备串联。真空系统1.整个过程中需保证系统的密封性，并且其极限压力不高于1Pa；2.运行过程中，气体的抽速需达到6m3/h。控制系统1.真空控制系统，

2、需控制压力从1Pa到大气压范围内可调；2.温度控制系统，需满足八路温控，其精度需达到1℃；3.流量控制系统，采用质量流量计实现四路流量精确控制，其中两路流量范围0~500sccm，两路流量范围0~200sccm；4.阀门控制系统，需满足18组阀门开关时序控制；5.反应控制系统，需实现常规生长模式、夹层生长模式、合金生长模式、准静态模式等多种需要的生长模式；6.计算机控制系统，阀门控制系统可通过计算机软件操作。（后期可根据实际需求添加其余控制系统的数字化采集模块和软件操作程序）