半导体设备行业研究框架总论：半导体景气度反转设备先行-20200206-方正证券.pdf

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1、证券研究报告2020年2月6日半导体设备行业研究框架总论——半导体景气度反转设备先行方正科技组首席分析师陈杭：S1220519110008方正半导体分析师范云浩：S1220519120001核心观点投资逻辑1、半导体设备是芯片制造的基石，国产化亟待突破。半导体设备支撑电子信息产业发展，2018年销售额约640亿美元，日美荷占据前十大设备制造商地位，垄断了90%市场份额。我国本土产线半导体设备国产化率仍处于较低水平，整体水平不足15%，中美贸易摩擦凸显我国缺“芯”之痛，产业链支撑环节半导体设备国产化势在必行。2、存储芯片国产化带来历史性机遇，产业链上下游合作

2、突破技术掣肘。2018年存储芯片出货占全球集成电路35%，用于存储芯片的设备投资占总市场55%。截止2019年9月24日，长江存储64层NAND与合肥长鑫DRAM相继投产，中芯国际、华虹、华力微等晶圆厂也进入扩产周期，产能爬坡有望拉升国产化率以降低整线采购成本。同时制造厂与设备制造商有望构建新合作模式，国内半导体设备商利用紧密贴合客户加大技术创新和服务。3、复盘全球半导体设备龙头AMAT.O，技术与产品为基，产业链整合与平台化战略为翼。公司初创期战略聚焦设备领域，成长期屡次抓住产能转移窗口布局中国台湾、韩国、中国等国家和地区，借6吋晶圆扩产潮推出Precis

3、ion系列CVD与Endura系列PVD降本增效，市占率从87年4%跃升至99年的20%，成熟期通过产业链整合搭建了泛半导体设备平台扩大优势并向解决方案过度，市占率连续20年稳居第一。复盘总结从四个维度考察半导体设备商的成长性：管理层及股东背景决定了战略定位、工艺环节与平台化能力决定了成长空间、核心技术团队与研发支出奠定了市场竞争力。4、国内双寡头格局初定，北方华创(002371.SZ)平台化布局优势显著，中微公司(688012.SH)率先进入台积电供应链。北方华创背靠北京电控，以清华、北大、中科院为依托，布局集成电路、MEMS、LED、光伏领域，其中集成电

4、路领域覆盖50%前道工艺环节，平台化布局优势显著。28nmPVD被中芯国际指定为baseline机台，14nm制程中6个工艺环节产品进入验证阶段。中微公司背靠上海创投，原AMAT副总裁领衔国际化团队创立，以介质刻蚀与MOCVD设备为突破口，其中介质刻蚀进入台积电7nm供应链，2018H2MOCVD占全球氮化镓基LED市场的60%，上市后通过参股方式进入检测工艺环节开启平台化战略。投资策略：二期大基金启动设备环节重点受益，建议关注北方华创(002371.SZ)，中微公司(688012.SH)风险提示：半导体行业景气度下行；半导体设备技术更新；半导体制造厂资本开

5、支不及预期；中美贸易摩擦加剧目录——从AMAT成长历程看国内半导体核心层设备发展半导体设备产业支柱性地位01国之重器，任重道远CONTENTS中国半导体设备三大β02风口已至，布局之时应用材料（AMAT.0）经验讨论03始于硅谷，问鼎全球我们有别于市场的认知04红利来袭，转变之亟中微公司VS北方华创05北广南专，巨星正冉目录一半导体设备国之重器产业支柱性任重道远地位1.1半导体设备是半导体制造工艺的核心图表：半导体设备擎起整个电子信息产业半导体产业的核心在于制造，制造的核心是工艺，工艺的核心是设备和材料。半导体设备、材料与半导体工艺相辅相成，相互制约。

6、根据半导体行业内“一代设备，一代工艺，一代产品”的经验，半导体设备是半导体是晶圆制造商获取制程技术的关键,制造每道制程中的量产规格（包括量测数据和相关制程参数设定）是采购和验收设备的标准。也是每一家制造商的专利及核心技术的组成部分，制程技术必须要通过购买设备才能取得。数据来源：麦肯锡，方正证券研究所图表：半导体设备是半导体产业的基石数据来源：方正证券研究所整理绘制1.1主流晶圆尺寸停留在300mm尚未继续发展，为IC设备国产化赢得时间摩尔定律逐渐逼近物理和经济极限，发展有放缓趋势，为国内半导体设备企业追赶国际大厂赢得宝贵时间。从“特征尺寸”来说，由于先进工艺

7、节点的建厂成本呈指数级增长，当前全球也仅有中国台湾地区台积电、韩国三星等极个别代工厂可以继续投资7nm及以下工艺的研发和生产线建设，美国英特尔正在研发7nm工艺，格罗方德已搁置7nm研发。从“晶圆尺寸”来说，自2001年出现12英寸硅片以来，由于费用投入过大的问题，何时向18英寸发展仍是未知之数。而与此相对应的是，AIOT场景驱动下，辅助驱动、电源、人机结构、射频器件等芯片需求呈现一种“品多量少”的形态，通常单一细分品类的出货量不足1KK，且无需使用最尖端的制程工艺，使用12吋线生产性价比一般，8吋线因此重新焕发生机。在这样的形势下，为国产设备验证从易到难，

8、逐步提高设备稳定性，提供了宝贵的“练兵”机会。图表：