MOCVD法制备抗氧化铱涂层的研究现状-论文.pdf

《MOCVD法制备抗氧化铱涂层的研究现状-论文.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、固体火箭技术第37卷第4期JournalofSolidRocketTechnologyMOCVD法制备抗氧化铱涂层的研究现状①景伟，郭领军，马春红，李贺军(西北工业大学凝固技术国家重点实验室，西安710072)摘要：综述了MOCVD技术制备抗氧化铱涂层的基本原理和特点；MOCVD的制备工艺，如MO源、基体种类、沉积温度、沉积气氛等对铱涂层结构的影响；提出了铱涂层因热膨胀系数不匹配、存在杂质和微裂纹等氧化活性点失效的3种失效机制；并通过对比国内外MOCVD铱涂层的制备技术及性能特点，指出了国内MOCVD制备铱涂层的过程中存在的成本昂贵、沉积理论不

2、完善、结合力差等关键问题及可能的解决方案。关键词：MOCVD；铱；失效机制；抗氧化中图分类号：V259文献标识码：A文章编号：1006—2793(2014)04—0563—06DoI：10．7673／j．issn．1006—2793．2014．04．025ResearchstatusinpreparationofIridiumanti-oxidationcoatingsbyMOCVDJINGWei，GU0Ling-jun，MAChun—hong，LIHe-jun(TheStateKeyLaboratoryofSolidificationProc

3、essing，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xian710072，China)Abstract：ThebasictheoryandcharacteristicsofMOCVDtechnologyoffabricatingIrcoatingweresummarized．Factorsaffect—ingtheMOCVDdepositionprocessofIrcoatingwereintroduced，includingmetalorganicprecursor，thetypeofsubstrate，de

4、positiontemperatureandatmosphere．ThreefailuremechanismofIrcoatingincludingcoeficientofthermalexpansionmismatch，impuritiesandmicro—cracksweresummarizedandevaluated．Finally，thefabricationofIrcoatingbyMOCVDathomeandabroadwerecom—paredandtheexpensive，imperfecttheoryandpoorbondin

5、gproblemathomewaspointedoutwhilethepossibleroutewasputfor-ward．Keywords：MOCVD；iridium；failuremechanism；oxidationresistance0引言合材料具有高的比强度、比模量，良好的抗热震性能及随着航空航天工业的发展，性能优异的高温结构强度随温度升高不降反升的特性，是理想的发动机燃材料愈来愈受到人们的关注。目前，常用的高温结构烧室、尾喷管和火箭喉衬等高温结构材料；但炭／炭复材料有高温合金、高温陶瓷和炭／炭复合材料l1]。高温合材料在450℃有

6、氧环境下开始氧化，且随着氧化加铌合金的极限使用温度约在1400oC，已很难满足飞剧，其强度损失数倍增加j。为了在高温下能够充行器姿态控制所用发动机的需要；通过增加合金中w、分发挥高温结构材料(尤其是高温合金和炭／炭复合材Mo、Re等难熔组元的含量来提高高温合金的高温强料)的高温特性，在其表面制备致密的热障涂层是非常度，无形中降低了合金的抗氧化和抗热蚀性能]。超有效的措施之一。目前，已经开发的高温热障涂层大高温陶瓷由于熔点高、高温强度优异，已成为未来高温多使用温度在1800℃以下，难以满足新一代航天飞结构材料的主角；但是，由于陶瓷材料本身的脆性，

7、提行器、发动机等的使用要求。因此，急切需要开发使用高断裂韧性和抗热震性能仍是研究热点J。炭／炭复温度更高、性能更加优异的高温涂层。①收稿日期：2013．11-09；修回日期：2013—11-25。基金项目：国家自然科学基金创新群体项目(51221001)；教育部博士点基金(20126102110013)；国家自然科学基金面上项目(51222207)。作者简介：景伟(1991一)，男，硕士，主要研究复合材料及热障涂层。E．mail：JWnwpu@163．eom通讯作者：：郭领军(1963～)，男，博士生导师。E-mail：guolingjun@n

8、wpu．edu．en—-——563-·-——2014年8月固体火箭技术第37卷铂系金属铱具有高熔点(2454oC)、高强度、良好体表面的吸附能力及气体