低温烧结Ba3（VO4）2-xZnMoO4微波介质陶瓷研究.pdf

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1、第36卷第3期压电与声光Vo1．36NO．32O14年O6月PIEZOEIECTRICS&AC0UST00PTICSJune2014文章编号：1004—2474(2014)03—0455—03低温烧结Ba3(VO4)2一xZnMoO4微波介质陶瓷研究高彬，杨青慧，张怀武(电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054)摘要：采用固相反应法制备了Ba。(V0)-xZnMoO陶瓷，研究不同ZnMoO含量对Ba。(V0)微观结构及介电性能的影响。X线衍射(XRD)测试结果表明，二者兼容性良好，无第

2、二相产生；具有低熔点及相反(负)频率温度系数的ZnMoO能有效降低Ba。(V0)的烧结温度，同时调节温度稳定性。当z一8(质量分数)时，所制陶瓷烧结温度约850℃，相对介电常数e≈13，品质因数QX／≈26400GHz，谐振频率温度系数"rf≈+3fC一。关键词：Ba。(VO)；ZnMoO；微波介质陶瓷；低温烧结；介电性能；谐振频率温度系数中图分类号：TM28；TQ174文献标识码：AStudyonBa3(VO4)2一xZnMoO4MicrowaveDielectricCeramicsSinteredatLow

3、TemperatureGAoBin，YANGQinghui，ZHANGHuaiwu(StateKeyLab．ofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054，China)Abstract：TheBa3(V04)2一xZnMoO4ceramicshavebeenpreparedbytheconventionalsoli—statereactionmeth

4、odandtheeffectsofdifferentcontentsofZnMoO4onthemicrowavedielectricpropertiesandthemicrostructuresofBa3(VO4)2一xZnMoO4compoundceramicshavebeeninvestigated．TheX-raydiffraction(XRD)testresultsindicatedthatBa3(VO4)2andZnMoO4phasecoexistinthecomposite，andnoseconda

5、ryphasescanbedetected，havingagoodcompatibility．Thenear-zerotemperaturecoefficientsoftheresonantfrequency("rf)couldbeachievedbyad～justingtherelativecontentofthetwophasesowingtotheiroppositerfvalues．Whenz一8，thesinteredtempera’tureofpreparedceramicsreducedto850

6、℃andexhibiteddesirablemicrowavedielectricpropertiesofthequalityfac—torQ×f≈26400GHz，dielectricconstant￡f≈13，andresonant_frequency—temperaturecoefficientofrf≈+3u℃-。．Keywords：B3(VO4)2；ZnMoO4；microwavedielectricceramics；low—temperaturesintered；dielectricproper—t

7、ies；temperaturecoefficientofresonantfrequency0引言(52。C)及良好的微波介电性能(￡≈14，Q×，≈42000GHz)_3]。目前LTCC材料的研制普遍采用随着移动通讯和卫星通讯的飞速发展，我们对添加助烧剂降低烧结温度，然后掺杂调节r，的方电子产品的小型化、高频化、多功能、低成本及高可靠等各方面提出了越来越高的要求，对新型高性能法，如R．Umernura等_4]通过添加0．5(质量分电子陶瓷材料的需求随之急剧增加L]]。近年来，低数)的BO。，在950℃下烧结制备

8、的Ba。(Vo)陶温共烧陶瓷技术(LTCC)以其优异的电子及热机械瓷样品，性能参数为Q×厂=41065GHz，￡一12．5，特性成为未来的首选方式。为能与银、铜等金属内rf：38．8“℃_。；通过添加0．0625的烧结助剂电极材料共烧，烧结温度须低于其熔点，一般要求低LiCO。，在950℃下烧结制备的Mg。(Vo)2-于900℃；同时适当的介电常数￡、较高的品质因数0．5Ba。(VO)