新型大容量涡轮分子真空泵-论文.pdf

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1、2014年2月15日TechnologyProgress总第272期尖端技术改进气体流动能力和高温管理，以防止粉末沉淀新型大容量涡轮分子真空泵EdwardsLimited是一家全球领先需求，因而也节省了成本，体积紧凑易的真空设备和尾气处理系统制造商及于在各种应用中快速安装。此外，就像相关增值服务提供商，该公司推出了我们所有的磁浮式涡轮泵一样，无需其STP-iXA4506大容量涡轮分子泵机械轴承的特性几乎免除了定期维护（TMP）。这款产品旨在为半导体、平板的成本。”显示器、LED和太阳能电池板制造商这款涡轮泵的高抽速度（4300l/s节省更多成本。N2）和高流量（高达4300scc

2、mN2）结EdwardsTMP产品营销经理合其有效抽吸轻气体和重气体的能关于EdwardsShinichiYoshino表示：“新型STP-iX-力，使STP-iXA4506非常适用于许多Edwards是一家全球领先的真空A4506涡轮泵是拥有改良抽气性能的不同的大流量、高流动性应用，包括半设备、尾气处理系统和相关增值服务一体化解决方案。它采用了Edwards最导体蚀刻、LCD蚀刻、玻璃镀膜、太阳的开发商和制造商。其产品和服务在新的转子设计和成熟且高度可靠的能PVD和PVD镀膜。其高度集成的设半导体、平板显示器、LED和太阳能电iXA系列机载控制器，使容许的通过计包括一个完全密封

3、的电子模组，以池的制造流程中不可或缺；被应用于的气量最大化，从而使高流量过程所在最严苛的工厂环境中实现稳健、可日益多样化的工业生产过程，包括电需的涡轮泵数量减至最小，尤其是在靠的操作。需要时还可增加一套加热力、玻璃和其他镀膜应用、钢铁和其他太阳能和平板应用中。泵集成的控制系统，以减少来自工艺过程中副产物冶金工业、制药和化学工业，并用于科器免去了对线缆和独立控制器机架的的沉积物和微粒的堆积。学仪器和多种研发应用。面向无人机系统推出世界首个测量级激光雷达！RIEGLLaserMeasurementSystems推出世界首个测量级无人机系统（UAS）激光雷达（LiDAR）传感器———V

4、UX-1。这最新激光雷达传感器款创新型的传感器旨在应对采用UAS、旋翼机和超轻型飞机等新兴的高性能和高集成度测量解决方案方面的挑战。TheLatestLaserRadarSensorVUX-1是一款超轻型激光雷达传感器，总重量仅4.5千克的技术创新，我们预计未来将在这些领域将取得巨大增（不足10镑），可轻松安装在专业的无人机系统/遥控飞行长，对此我们倍感自豪。”系统（UAS/RPAS）上。VUX-1具有300°视场角，可采集高VUX-1将于2014年国际激光雷达测绘论坛（ILMF质量的激光雷达数据。内置存储器能满足在300m的飞行2014）举办期间在RIEGLUSA展台亮相。高度

5、连续数小时的数据采集。该款激光雷达可广泛应用于农业、关于RIEGLLMS院林业、采矿业、洪泛区绘图、冰川RIEGLLaserMeasurementSys-绘图、应急测绘以及国防和学术tems总部位于奥地利，是集研究、研究。开发和生产于一体的高技术企RIEGL首席执行官Dr.Jo-业，产品涉及地面、车载、船载、机hannesRiegl表示：“VUX-1是载、无人机系统及工业激光扫描RIEGL提供专门面向无人机系统系统等方面。RIEGL的创新型硬件与遥控飞行系统市场开发的激光与软件几乎能为所有应用领域提雷达传感器。凭借VUX-1突破性供强有力的解决方案。办公自动化杂志·19·