并行共焦测量中的并行光源技术综述-论文.pdf

《并行共焦测量中的并行光源技术综述-论文.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第6卷第5期中国光学V0I．6No．52013年1O月ChineseOptics0ct．2013文章编号1674-2915(2013)05-0652-08并行共焦测量中的并行光源技术综述余卿h，余晓芬，崔长彩，叶瑞芳，范伟(1．华侨大学机电及自动化学院，福建厦门361021；2．合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥230009)摘要：并行共焦测量技术的核心是将单点共焦测量变成多点同时扫描测量，从而使共焦测量速度显著提高。本文介绍了共焦测量技术原理，综述了用于并行共焦的并行光源技术，分析了

2、这些方法的优点和不足。结合作者近年来的研究成果，重点阐述了基于微透镜阵列和数字微镜器件(DMD)产生并行光源的新方法。分析和研究了DMD的空间光调制机理，最终建立了一种单光源双光路并行像散共焦测量系统。关键词：共焦显微镜；并行光源；并行共焦测量；三维形貌术；微透镜阵列；数字微镜器件中图分类号：TH742．9文献标识码：Adoi：10．3788／CO．20130605．0652Surveyofparallellightsourcetechnologyinparallelconfocalmeasur

3、ementYUQing，YUXiao．fen，CUIChang—cai，YERui—fang，FANWei(1．CollegeofMechanicalEngineeringandAutomation，HuaqiaoUniversity，Xiamen361021，China；2．SchoolofInstrumentScienceand@to—electronicsEngineering，HefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China)Correspond

4、ingauthor，E—mail：jorson．y@163．cornAbstract：Parallelconfocalmeasurementtechnologychangestraditionalsimplescanningintoamulti—spotscanning，anditwillimprovetheefficiencyofmeasurementsignificantly．Inthispaper，theworkingprincipleofconfocalmeasurementtechno

5、logyisintroducedandsomemethodstoproduceaparallellightsourceintheparallelconfecalmeasurementaresurveyed．Then，itanalyzestheadvantagesanddisadvantagesofthesemeth0ds．Atlast．itpresentsthelatestresearchachievements，anddescribesnewmethodstoproducethepar-a11

6、e1lightsoureebasedonthemicrolensaITavandtheDigitalMicro—lensDevice(DMD)．Byanalysisofthemechanismofspatiallightmodulation．itestablishesalaserparallelastigmatismmeasuringsystembasedonaparallellightsourceanddualbeampaths．Keywords：confocalmicroscopy；para

7、llellightsource；parallelconfocalmeasurement；3一Dtopography；micro—lensarray；DigitalMicro．1ensDevice(DMD)收稿日期：2013-07—11；修订日期：2013-09—13基金项目：国家自然科学基金资助项目(No．50775063)；教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(No．NCET一10—0l16)；华侨大学高层次人才科研启动费资助项目(No．12BS109)第5期余卿，等：并行共焦测量中的并行光源

8、技术综述653源、被测物面的物点及探测器像点彼此共轭的关1引言系，即可完成共焦测量。随着科技的发展，制造技术的不断进步，人们对制造产品的要求越来越高，而制造工具的几何参数及表面形貌特征会对产品的质量产生重要的影响，因此，对于制造工具表面形貌的高精度测量成为了研究的热点¨。J。表面形貌测量的方式很多，可分为接触式和非接触式，其中接触式测量需要修正触针的测量力，且对被测对象表面的硬度有要求，应用范围受到限制；非接触测量具有无破坏性的显微观察能力，在表面形貌测量中受到欢图1共焦显微镜系统框图Fig．1